激光微納加工裝置中控制軟件的設計與實現(xiàn).pdf

1、隨著平板顯示、微電子器件和激光全息行業(yè)的快速發(fā)展和技術進步，對激光微納加工裝置的性能提出了更高的要求。裝置的硬件設備需要通過不斷的升級來提高裝置的硬件性能，控制軟件也要不斷的升級優(yōu)化。本課題針對這一現(xiàn)狀，設計和實現(xiàn)了一款支持多種類型微納結構加工方式的控制軟件。這款控制軟件能夠在某單位的一系列激光微納加工裝置中使用。所做主要工作包括:
　　首先，分析了激光微納加工裝置的硬件組成和主要部件的特性，并詳細介紹了兩個主要部件:運動控制卡和

2、數(shù)字微反射鏡;其次，提出了控制軟件的設計原則和目標，在此基礎上進行總體設計，包括功能模塊的劃分和開發(fā)環(huán)境的選擇和配置等;最后詳細描述了控制軟件的系統(tǒng)初始化模塊、運動控制模塊和任務控制模塊等主要功能模塊的設計與實現(xiàn)。
　　本控制軟件采用面向對象的設計思想為激光微納加工裝置的主要器件設計父類，根據器件的不同型號、品牌，設計專門的子類，這些子類繼承并實現(xiàn)父類中的相關方法和屬性，使控制軟件具有擴展性和通用性。
　　本文所設計和實現(xiàn)的