連續(xù)激光雙光子聚合微納加工系統(tǒng)研究.pdf

1、雙光子聚合微納加工是一種加工微納結(jié)構(gòu)的技法，其原理是將激光光束在光敏材料內(nèi)會聚，只有在焦點中心附近的極小區(qū)域內(nèi)才能發(fā)生雙光子吸收聚合反應，改變焦點和光敏材料的相對位置即可“直接寫得”任意微納結(jié)構(gòu)。雙光子聚合加工具有無需掩膜、無需支撐等優(yōu)點。當前，雙光子聚合加工系統(tǒng)普遍采用昂貴的飛秒激光器，本論文提出基于532nm連續(xù)激光器的雙光子聚合加工系統(tǒng)，系統(tǒng)成本低、結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，能實現(xiàn)300μm×300μm×300μm范圍內(nèi)三維微納結(jié)構(gòu)的加

2、工。
　　論文的主要工作包括以下幾個方面：
　?。?）介紹了雙光子吸收和雙光子聚合效應的原理以及搭建雙光子聚合加工系統(tǒng)的關鍵理論——高斯光束特性和分界面定位算法。
　?。?）從硬件和軟件兩方面介紹了雙光子聚合加工系統(tǒng)的組成：系統(tǒng)硬件包括光源與光路系統(tǒng)、顯微與成像系統(tǒng)和運動控制系統(tǒng)，系統(tǒng)軟件基于LabVIEW編寫，主要包括激光控制模塊、CMOS成像與分界面定位模塊、路徑規(guī)劃模塊。
　　（3）介紹了通過跟蹤相機采集到