飛秒激光多光子微加工技術(shù)的研究.pdf

1、飛秒激光具有窄脈沖寬度和高峰值功率的特點(diǎn)，聚焦后在焦點(diǎn)處具有極高的光強(qiáng)，可實(shí)現(xiàn)多光子加工。本論文對(duì)飛秒激光多光子直寫技術(shù)進(jìn)行了研究，包括以下內(nèi)容：
　　 1.飛秒激光SU8負(fù)性光刻膠雙光子聚合工藝研究。系統(tǒng)研究了前烘工藝、激光功率和曝光時(shí)間、以及后烘工藝對(duì)聚合結(jié)構(gòu)的影響，結(jié)果表明：前烘溫度對(duì)聚合結(jié)果的影響并不明顯(溫度過高會(huì)發(fā)生聚合)；聚合結(jié)構(gòu)的尺寸會(huì)隨著激光功率的增大和曝光時(shí)間的增長而增大，增大到一定的尺度時(shí)，聚合趨于飽和；后

2、烘焙溫度控制在85℃～95℃，后烘時(shí)間控制在20min～40min可以獲得比較理想的聚合結(jié)構(gòu)。
　　 2.飛秒激光摻鋯有機(jī)無機(jī)雜化材料雙光子聚合工藝研究。系統(tǒng)研究了前烘工藝、激光功率和曝光時(shí)間對(duì)聚合結(jié)構(gòu)的影響，結(jié)果表明：前烘焙溫度在80℃～100℃可以得到較好的聚合結(jié)構(gòu)；聚合結(jié)構(gòu)的分辨率會(huì)隨激光功率的減小和曝光時(shí)間的減少而提高，但是聚合程度降低。
　　 3.飛秒激光直寫金屬銀微結(jié)構(gòu)。系統(tǒng)研究了激光參數(shù)、硝酸銀濃度對(duì)金屬銀

3、微結(jié)構(gòu)的影響，結(jié)果表明：硝酸銀溶液濃度較低(質(zhì)量比為16.67％)時(shí)，析出的金屬銀顆粒呈球狀，比較分散，彼此未完全連接，并且隨激光功率降低和掃描速度的提高，金屬銀顆粒的分散度也增加；加入染料后，金屬銀的顆粒變長，連接較好；硝酸銀溶液為飽和溶液(質(zhì)量比為70.67％)時(shí)，析出的金屬銀結(jié)構(gòu)由微米尺寸片狀物組成，并且沉積的銀含量顯著提高，沉積結(jié)構(gòu)的連續(xù)性得到了改善；飛秒激光直寫金屬銀結(jié)構(gòu)熱效應(yīng)影響比較大，沉積結(jié)構(gòu)尺度偏大，并且出現(xiàn)了金屬的濺射