硅玻璃中飛秒激光微加工技術(shù)研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、飛秒激光的脈沖寬度在3.4fs～150fs之間，脈沖的峰值功率可達(dá)1020W/cm2。由于具有極短的脈沖寬度和極高的峰值功率，使飛秒激光加工技術(shù)可以克服傳統(tǒng)激光加工技術(shù)所面臨的各種網(wǎng)難。飛秒激光微加工已經(jīng)成為當(dāng)今科學(xué)研究的熱點之一。本文對硅玻璃中飛秒激光微加工技術(shù)進(jìn)行了研究。主要內(nèi)容包括：
　　 ⑴從實驗上研究了熔融硅玻璃中飛秒激光有效加工功率隨著加工深度的變化，發(fā)現(xiàn)有效加工功率范闈及最小值隨深度的增加而增大。
　　 ⑵

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