準分子激光微加工控制系統(tǒng)研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、該文首先分析了準分子微細加工工藝的特點,從其需求出發(fā)確定了該控制系統(tǒng)的總體框架.然后展開逐項內(nèi)容研究.根據(jù)微動臺的運動特點進行了基于計算機局部總線技術(shù),以Intel8254為核心的硬件控制電路設(shè)計.實現(xiàn)了對微動臺調(diào)x y z軸的精確運動控制、轉(zhuǎn)臺和旋轉(zhuǎn)掩模板的轉(zhuǎn)動控制.在硬件設(shè)計上的創(chuàng)新點是我們實現(xiàn)了對準分子激光外觸發(fā)的精確控制,包括激光脈沖個數(shù)和脈沖頻率.從而實現(xiàn)了工作臺位移運動與激光外觸發(fā),轉(zhuǎn)臺轉(zhuǎn)動的聯(lián)動.論文對微加工過程中使用的插

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