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文檔簡(jiǎn)介
1、本文對(duì)大深寬比微加工工藝進(jìn)行了研究。工藝采用有機(jī)玻璃為模具,248nm KrF準(zhǔn)分子激光為加工光源,電鑄鎳為微結(jié)構(gòu)層,與傳統(tǒng)MEMS加工工藝相比,具有加工結(jié)構(gòu)深寬比大、無毒、無掩模、易于集成且加工成本低等優(yōu)點(diǎn)。因此該工藝對(duì)大深寬比MEMS微結(jié)構(gòu)的研究有著重要的意義。本文的主要工作包括: (1)闡述化學(xué)沉積導(dǎo)電層(犧牲層)的原理,并在傳統(tǒng)化學(xué)沉積的基礎(chǔ)上根據(jù)工藝的要求,作了改進(jìn),提高了化學(xué)鍍層與基片的結(jié)合度,簡(jiǎn)化了工藝步驟。
2、 (2)試驗(yàn)分析比較了有機(jī)玻璃(PMMA)于其他材料,如普通厚光刻膠、UV-LIGA工藝SU-8光刻膠、LIGA工藝PMMA光刻膠、有機(jī)聚合物PI等材料相比作為模具的優(yōu)缺點(diǎn),選擇有機(jī)玻璃作為加工模具,并對(duì)其進(jìn)行材料改性,提高了模具塑性和與基片的結(jié)合力。 (3)通過分析研究準(zhǔn)分子激光加工能量、相對(duì)脈沖頻率,熱影響區(qū)等參數(shù)對(duì)圖形轉(zhuǎn)移質(zhì)量的影響,通過調(diào)整準(zhǔn)分子激光加工參數(shù),得到較好的加工圖形。 (4)試驗(yàn)分析了電鑄時(shí),電極
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