已閱讀1頁，還剩60頁未讀， 繼續(xù)免費(fèi)閱讀
版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡介
1、準(zhǔn)分子激光電化學(xué)刻蝕工藝是一種將準(zhǔn)分子激光直接刻蝕和電化學(xué)刻蝕相結(jié)合而形成的新工藝。為研究該工藝對半導(dǎo)體硅材料的刻蝕性能，本文采用248nm KrF 準(zhǔn)分子激光作為光源，KOH溶液作為電化學(xué)刻蝕液，對其進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究。在此基礎(chǔ)上，分析了該工藝刻蝕硅材料的基本形貌，以及影響刻蝕特性的若干關(guān)鍵因素。本文的主要內(nèi)容包括： （1）闡述了準(zhǔn)分子激光電化學(xué)刻蝕硅工藝的基本原理。工藝中同時(shí)存在三種刻蝕作用：準(zhǔn)分子激光直接刻蝕作用，KOH電化學(xué)
2、刻蝕作用，以及準(zhǔn)分子激光與電化學(xué)的耦合刻蝕作用。 （2）設(shè)計(jì)了工藝實(shí)驗(yàn)裝置。該裝置主要包括三個(gè)部分：準(zhǔn)分子激光器、電化學(xué)反應(yīng)池和工藝實(shí)驗(yàn)光路。在電化學(xué)反應(yīng)池中，硅片作為陽極浸沒在KOH電解液中，陰極采用網(wǎng)狀鉑電極，在兩電極之間加上一定的外加電壓，激光束可以通過反應(yīng)池上的透光窗口入射到硅樣片上。 （3）在實(shí)驗(yàn)結(jié)果的基礎(chǔ)上，分析了該工藝刻蝕硅材料的基本形貌和影響刻蝕特性的若干關(guān)鍵因素，并與準(zhǔn)分子激光直接刻蝕硅工藝、準(zhǔn)分子激光
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 準(zhǔn)分子激光微刻蝕加工的實(shí)驗(yàn)研究.pdf
- 準(zhǔn)分子激光
- 激光電化學(xué)復(fù)合刻蝕加工的過程檢測研究.pdf
- 準(zhǔn)分子激光晶化多晶硅的研究.pdf
- 用于準(zhǔn)分子激光刻蝕的變焦距物鏡的設(shè)計(jì)研究.pdf
- 空心玻璃微球球殼準(zhǔn)分子激光刻蝕的研究.pdf
- 準(zhǔn)分子激光治療近視
- 準(zhǔn)分子激光微細(xì)加工工藝和加工機(jī)理研究.pdf
- 準(zhǔn)分子激光角膜屈光手術(shù)
- 準(zhǔn)分子激光微加工若干特性研究.pdf
- 氫化納米硅薄膜準(zhǔn)分子激光誘導(dǎo)晶化的研究.pdf
- 準(zhǔn)分子激光矯治屈光不正
- 氮分子二聚物類準(zhǔn)分子激光介質(zhì)研究.pdf
- 準(zhǔn)分子激光光闌法加工微透鏡的工藝研究.pdf
- 準(zhǔn)分子激光微加工變焦系統(tǒng)研究.pdf
- 應(yīng)用準(zhǔn)分子激光行屈光性板層角膜移植的實(shí)驗(yàn)研究.pdf
- 準(zhǔn)分子激光器快放電電路研究.pdf
- 準(zhǔn)分子激光微孔加工技術(shù)研究.pdf
- 紫外線激光、準(zhǔn)分子激光和微加工.pdf
- 基于準(zhǔn)分子激光大深寬比微結(jié)構(gòu)加工工藝研究.pdf
評論
0/150
提交評論