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文檔簡介
1、隨著信息時代的到來,微細加工技術的特征尺寸變得越來越細,加工尺寸進入亞微米以至納米級,先進的制造科學與技術顯得越來越重要.當今的先進制造技術是集光學、機械學、電子學、計算機控制技術等于一體的綜合技術,微、納加工技術的發(fā)展,尤其是各種光刻技術的發(fā)展離不開精密工件臺技術的發(fā)展和進步.本文介紹了精密工件臺技術在國內外的研究情況,系統(tǒng)地闡明了精密工件臺中的關鍵技術—精密測量技術、直線驅動技術、直線導向技術、微位移技術、控制技術的工作原理、結構、
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