基于CCD的尺寸參量通用檢測(cè)系統(tǒng).pdf

1、本文在CCD光學(xué)顯微檢測(cè)系統(tǒng)基礎(chǔ)上，針對(duì)尺寸參量顯微測(cè)量方法進(jìn)行了深入的研究，建立了一套基于CCD的尺寸參量通用檢測(cè)系統(tǒng)。本系統(tǒng)對(duì)原軟件系統(tǒng)做了大量的改進(jìn)，進(jìn)一步完善了原系統(tǒng)的測(cè)量功能，設(shè)計(jì)了邊界提取算法、手動(dòng)測(cè)量、尺寸檢測(cè)、角度測(cè)量及超屏幕尺寸測(cè)量方法，解決了測(cè)量方式單一的問題，使其成為一套通用的檢測(cè)系統(tǒng)。
　　提出一種新的采用可移動(dòng)坐標(biāo)檢測(cè)方案，設(shè)計(jì)了測(cè)長度、測(cè)圓和測(cè)角度坐標(biāo)3種不同的測(cè)量坐標(biāo)系，對(duì)各測(cè)量坐標(biāo)系所適用的圖像特征

2、進(jìn)行了闡述，并給出了3種坐標(biāo)系的變換函數(shù)。
　　在超屏幕尺寸測(cè)量技術(shù)中，關(guān)于二維光學(xué)顯微工作臺(tái)位移信號(hào)采集，采用了光柵尺來實(shí)現(xiàn)超屏幕尺寸測(cè)量，設(shè)計(jì)了光柵信號(hào)采集電路，分析研究了采集電路中的關(guān)鍵性問題，提出相應(yīng)的解決方案，并討論了工作臺(tái)位移信號(hào)、圖像數(shù)據(jù)與實(shí)際尺寸的關(guān)系；同時(shí)設(shè)計(jì)了電機(jī)驅(qū)動(dòng)接口電路，為二維工作臺(tái)自動(dòng)測(cè)量奠定基礎(chǔ)。
　　本系統(tǒng)在使用可移動(dòng)坐標(biāo)法檢測(cè)普通微小尺寸測(cè)量重復(fù)精度達(dá)到：測(cè)長度、測(cè)圓坐標(biāo)系為±0.3μm，測(cè)