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文檔簡介
1、<p><b> 附錄A 英文原文</b></p><p><b> 附錄B 中文翻譯</b></p><p> 對形狀復(fù)雜的微小零件的精密切削工藝研究</p><p> WANG Gui-lin1, ZHANG Fei-hu1, DAI Yi-fan2</p><p> (1
2、. Dept. of Mechanical Manufacturing & Automation, Harbin Institute of technology, Harbin 150001, China, E-mail: guilin74811@nudi.edu.cn ; 2. School of Mechatronic Engineering & Automation, National University of
3、Defense Technology, Changsha 410073, China)</p><p> 摘要: 相對于特種微型制造技術(shù)以及高能束微型制造技術(shù), 微型切削工藝有許多的優(yōu)點(diǎn)。例如,機(jī)械加工尺寸范圍更廣,設(shè)備成本更低,生產(chǎn)能力和機(jī)械精度更高。因此,</p><p> 微型切削工藝將會對復(fù)雜形狀的微小零件的機(jī)械技術(shù)產(chǎn)生重要影響。本文在自主研發(fā)機(jī)床的基礎(chǔ)上,通過分析復(fù)雜形狀的建
4、模方法,刀具路徑的安排方法以及切削參數(shù)的最優(yōu)選擇,對由金屬材料制造的復(fù)雜形狀的微小零件的精密切削工藝進(jìn)行研究。在上述工作的基礎(chǔ)上,制造出一個(gè)典型的精度高, 表面粗糙度低且復(fù)雜形狀微小零件的硬鋁樣品。這個(gè)結(jié)果將會對微型切削工藝的進(jìn)一步研究提供有利的技術(shù)支持</p><p> 關(guān)鍵字:復(fù)雜形式;微小零件;建模;切削</p><p> 中圖分類號:TH161 文件編碼:A
5、 文章ID :1005-9113(2007)04-0528-05</p><p> 隨著微/納米技術(shù)的持續(xù)發(fā)展,有著微小形狀尺寸和可細(xì)微操作這種特征的微型機(jī)械已經(jīng)在人們的微觀世界領(lǐng)域利成為了認(rèn)識和重建客觀世界的高端且新穎的技術(shù)。由于他們能夠在狹窄的空間工作而且不會打擾工作的環(huán)境和對象,微型機(jī)械被廣泛的應(yīng)用在像航空,精密設(shè)備,生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。復(fù)雜形狀微小零件的切削工藝作為微小衛(wèi)星,微型陀螺儀和其他微型機(jī)械的執(zhí)行
6、零件中的不可缺少技術(shù),在許多發(fā)達(dá)國家中被認(rèn)為是21世紀(jì)里關(guān)鍵技術(shù)之一。</p><p> 微型機(jī)械的內(nèi)涵非常豐富。作為合成的機(jī)電一體化產(chǎn)品,微型機(jī)械不僅僅表現(xiàn)在尺寸上的縮小。而是利用微型切削工藝和一些特殊材料,將機(jī)構(gòu),致動器,控制器、傳感器、電源集成在微型機(jī)械中,在微小的空間里發(fā)揮機(jī)械功能。因此,微型制造技術(shù),尤其是微型切削工藝,是制造微型機(jī)械的基礎(chǔ),并且隨著微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)的發(fā)展會變得越來越重要。</p&
7、gt;<p> 1 微型切削技術(shù)在三維結(jié)構(gòu)上的優(yōu)點(diǎn)</p><p> 微型切削工藝能夠達(dá)到極細(xì)的運(yùn)動精度和高重復(fù)精度,在微型機(jī)械的研究領(lǐng)域中他是微米、亞微米、納米級制造的通稱。微型制造有很多種方式包括所有的非常規(guī)機(jī)械加工方式常見的微型制造方式包括光刻法、蝕刻技術(shù)、LIGA(光刻組織和電鍍還原)技術(shù)、薄膜制備技術(shù)、犧牲層技術(shù)、分子裝配技術(shù)、集成機(jī)構(gòu)制造技術(shù)和微型切削技術(shù)。</p>
8、<p> 目前,最可行的微型制造技術(shù)包括硅各向異性蝕刻和LIGA技術(shù),許多經(jīng)典的微型機(jī)械裝置制造都是采用上述方法的。但是硅各向異性蝕刻和LIGA技術(shù)都有他們各自的缺陷。從表1中可以看出,LIGA中存在許多的局限,最主要的一點(diǎn)是構(gòu)成工作部件的材料。事實(shí)上,LIGA技術(shù)適合制造二維結(jié)構(gòu)和一些小于在1毫米深的三維結(jié)構(gòu)當(dāng)然,LIGA技術(shù)能夠在半三維結(jié)構(gòu)下進(jìn)行犧牲層技術(shù)加工,但是材料內(nèi)部會產(chǎn)生內(nèi)應(yīng)力而且會影響機(jī)械功能。此外,設(shè)備用于L
9、IGA技術(shù)是非常昂貴的,例如高準(zhǔn)直X射線通常由同步輻射加速器產(chǎn)生,比光刻設(shè)備貴很多,一般的實(shí)驗(yàn)室不能承擔(dān)這種設(shè)備。同時(shí),LIGA技術(shù)很難制造金屬零件,尤其是復(fù)雜形狀的微小零件。</p><p> 表1 微型切削工藝與LIGA技術(shù)比較</p><p> 相對于LIGA技術(shù)來說,微型切削工藝有許多優(yōu)點(diǎn)。例如,微型切削工藝的機(jī)械加工范圍更廣,設(shè)備成本更低,生產(chǎn)效率和精度更高,且相關(guān)技術(shù)更成熟
10、。不僅如此,他能加工出微小尺寸和真正的三維結(jié)構(gòu)的工作部件。</p><p> 2 復(fù)雜形狀微小零件的建模設(shè)計(jì)</p><p> 在制造復(fù)雜形狀微小零件之前,一定要完成建模設(shè)計(jì)。在建模過程中工作部件形狀的精確描述是高質(zhì)量、高精度制造零件的先決條件。在本文中以典型的復(fù)雜形狀——人的面部為基礎(chǔ),來研究復(fù)雜形狀微小零件的建模設(shè)計(jì)。</p><p> 復(fù)雜形狀不能用解
11、析幾何來表示。本文采用NURBS的方法來實(shí)現(xiàn)建模設(shè)計(jì),他有三個(gè)主要優(yōu)點(diǎn):第一,NURBS幾乎能表達(dá)任何形狀。第二,在建模過程中他有無限的建模自由度和控制能力,便于修改凹凸的趨勢,曲線方向和光滑等級。最后,對于復(fù)雜形狀,NURBS能顯著地節(jié)省數(shù)據(jù)和提高裝配精度。</p><p> 復(fù)雜形狀的建模過程由下圖1中的步驟組成</p><p> 圖1 復(fù)雜形狀的建模過程</p>
12、<p> 2.1 曲面框架的構(gòu)成</p><p> 首先,對人臉模型進(jìn)行仔細(xì)分析。然后取出反映臉部形狀的特征線或者特征面。在這個(gè)過程中,這些線只需要反引發(fā)出面部模型。如果他們太密了,將會花費(fèi)很多時(shí)間并且在建摸過程中很難平滑。這些特征線或特征面構(gòu)成了曲面框架。</p><p> 2.2 區(qū)分子曲面</p><p> 根據(jù)曲面的特征,將人臉曲面分為
13、8個(gè)子曲面,包括如圖2所示的前額、鼻子、面頰、上嘴唇、下嘴唇、下巴、眼眶和眼睛。每個(gè)子曲面可以由更低級別的單個(gè)或多個(gè)曲面構(gòu)成。因此,每個(gè)子曲面需要分別設(shè)計(jì)。位置和區(qū)域被定義之后,這些子曲面被混合成一個(gè)整體。</p><p><b> 圖2區(qū)分子曲面</b></p><p> 2.3 建模方式的選擇</p><p> 一般來說,同樣的曲面可
14、以由不同的建模方式構(gòu)成。因?yàn)槊恳粋€(gè)曲面都有他自己的特點(diǎn),如果建模方式不恰當(dāng),那么計(jì)算過程將會變得復(fù)雜而且形狀要求不能得到保證。</p><p> 在人臉的單個(gè)部位當(dāng)中,前額是一個(gè)旋轉(zhuǎn)地曲面。鼻子是由幾條曲線創(chuàng)造的規(guī)則曲面。鼻尖由一些曲面溶合而成。面頰由掃描曲面構(gòu)成。上下嘴唇是由三條曲線創(chuàng)造的頂層曲面。下巴是一個(gè)掃描曲面。眼眶是由一個(gè)被挖掘的曲面和兩個(gè)曲面融合而成。</p><p> 2
15、.4 創(chuàng)建子曲面</p><p> 在實(shí)際建模過程中,當(dāng)描繪縱向和橫向的特性曲線的時(shí)候,要先在較大區(qū)域的子曲面里表示出特性曲線。這個(gè)曲面作為位置基準(zhǔn)被畫了出來。對于人臉的模型,前額被選作位置基準(zhǔn)。</p><p> 建模方式被選擇了之后,子曲面中縱向的和橫向的特性曲線被表示出來且各種參數(shù)被設(shè)定。在上述工作的基礎(chǔ)上,每個(gè)滿足形狀和位置要求的子曲面就能被構(gòu)造出來。</p>
16、<p> 2.5 子曲面的溶合</p><p> 設(shè)計(jì)完單獨(dú)的子曲面之后,開始執(zhí)行子曲面的溶合。此過程非常復(fù)雜,他需要兩個(gè)子曲面有連續(xù)的切向平面,這樣才能確保溶合曲面平滑。因此,在建模過程中要準(zhǔn)確的選擇溶合位置且合理的設(shè)置參數(shù)。</p><p> 在人臉模型的八個(gè)子曲面中,實(shí)際上每個(gè)曲面都是由更低級別的子曲面構(gòu)成。建模設(shè)計(jì)完成之后,把每個(gè)子曲面溶合成需要的面。同時(shí),溶合處
17、要光滑。</p><p><b> 2.6 修改檢查</b></p><p> 當(dāng)復(fù)雜曲面的建模設(shè)計(jì)執(zhí)行完成后,將會由模型曲面生成NC代碼來完成機(jī)械加工。因此,這些模型曲面必須是密封的。換句話說,子曲面的間隙一定要小于允許誤差在曲面建模過程中,由于框架錯(cuò)誤,建模曲面和實(shí)際曲面之間存在著一些不同。如果這些錯(cuò)誤在設(shè)定范圍之內(nèi),那么曲面的設(shè)計(jì)就可被認(rèn)為是可行的。<
18、;/p><p> 實(shí)際上,他可以用電腦進(jìn)行仿真,來檢查光滑度以及這些曲面的接縫處能否被加工出來。如果發(fā)現(xiàn)有錯(cuò)誤,曲面建模會被立刻修改,知道構(gòu)造出正確的曲面。圖3所示用MasterCAM軟件進(jìn)行人臉建模。</p><p><b> 圖3 人臉建模</b></p><p> 3 復(fù)雜形狀微小零件的切削工藝</p><p>
19、 復(fù)雜形狀微小零件的尺寸在數(shù)毫米甚至1毫米以下是如此的小以至于其切削工藝與普通零件的不同。微型切削工藝通過合理選擇刀具、機(jī)床以及工藝條件來滿足機(jī)械加工的要求。</p><p> 3.1 刀具的選擇</p><p> 由于在微型切削過程中切削力很大,所以應(yīng)選在耐熱性高和耐磨性高的刀具材料。</p><p> 此外,為了達(dá)到穩(wěn)定的微米級精度,刀具的邊緣半徑和切
20、削深度都在微米級。</p><p> 一般來說,加工曲面時(shí)選擇羅盤銑刀(如圖4所示) 。但是由于羅盤銑刀的形狀導(dǎo)致它的尺寸不能足夠小。因此,羅盤銑刀可用來粗加工曲面,偏置刀具用來精加工曲面(如圖5所示)。</p><p> 圖4 羅盤銑刀的形狀</p><p> 圖5 偏置刀具的形狀</p><p> 3.2 機(jī)械加工設(shè)備的選擇&l
21、t;/p><p> 為了滿足微型切削的要求,機(jī)床的構(gòu)成必須滿足以下的功能:一個(gè)高穩(wěn)定性的伺服機(jī)構(gòu)系統(tǒng);定位精度高;重復(fù)定位精度高;一個(gè)低熱變形的結(jié)構(gòu);主軸轉(zhuǎn)速高;很低的動態(tài)不平衡和平穩(wěn)的床身構(gòu)件來隔離外界的振動干擾。根據(jù)上面的要求,自主研發(fā)的精密機(jī)床結(jié)構(gòu)如圖6所示。</p><p> 圖6 精密機(jī)床的結(jié)構(gòu)</p><p> 基于切削微小零件的機(jī)械特殊性,需要高的切
22、削速度和相當(dāng)小的切削半徑。因此主軸應(yīng)達(dá)到很高的轉(zhuǎn)速。同時(shí),因?yàn)楣ぷ鞑考膹?fù)雜形狀,主軸的穩(wěn)定轉(zhuǎn)動要相當(dāng)高。根據(jù)上述因素和切削功率的要求,在微型切削過程中選用DZ42X電主軸。</p><p> 3.3 刀具路徑的安排</p><p> 在機(jī)械加工曲面中,刀具路徑的生成方法有很多。在這些方法中,層切削方法顯示的是一組平行平面截?cái)嗲?,截線被當(dāng)做刀具的移動路徑。根據(jù)實(shí)際情況優(yōu)化之后,層切
23、削方法在切削復(fù)雜形狀微小零件的過程中可用來完成刀具路徑的安排。</p><p> 在用層切削方法來規(guī)劃刀具路徑的時(shí)候需要遵循的三個(gè)原則。</p><p> 1) 先粗加工,再精加工。在切削復(fù)雜形狀工作部件的過程中,多項(xiàng)程序被用來一步一步的滿足加工需求。用不同的層切削形式來實(shí)現(xiàn)不同的程序,如表2所示。</p><p> 2) 順銑。在順銑過程中,銑刀的刀齒以較大
24、的厚度切入工作部件以較小的厚度切出。因此,順銑的表面質(zhì)量較好而且刀齒磨損小。</p><p> 3) 在工件表面沿切線方向的進(jìn)刀和退刀。當(dāng)進(jìn)刀和退刀時(shí)要選擇不重要的位置。此外,為了避免產(chǎn)生刀痕,刀具的進(jìn)給和退回應(yīng)該沿著工件表面的切線或者切削延伸線</p><p> 此外,當(dāng)規(guī)劃刀具路徑時(shí),還需考慮例如刀具半徑補(bǔ)償以及工件和刀具之間的干涉問題。刀具干涉非常復(fù)雜,需要很多的內(nèi)容來解釋這種情
25、況。因此我們將討論不同型號刀具的半徑補(bǔ)償。</p><p> 對于羅盤銑刀(如圖7),刀具直徑是D,切削深度是Ap 。 補(bǔ)償半徑R可如下表示:</p><p><b> (1)</b></p><p> 圖7 羅盤銑刀的切削參數(shù)</p><p> 像偏置刀具(如圖8),刀尖半徑是r,錐角是θ,切削深度是Ap 。補(bǔ)
26、償半徑R可如下表示:</p><p><b> (2)</b></p><p> 3.4 切削用量的選擇</p><p> 工件材料是硬鋁,主軸轉(zhuǎn)速是6000r/min。當(dāng)粗加工時(shí)切削深度是30μm,進(jìn)給速度是2mm/s。當(dāng)精加工時(shí)切削深度是15μm,進(jìn)給速度是1mm/s。</p><p> 圖8 偏置刀具的切
27、削參數(shù)</p><p> 對于立式的羅盤銑刀(如圖7所示),切削間距是Ae, 有效直徑是De,殘余高度是h,切削速度是vc,主軸轉(zhuǎn)速是n。則一些方程式可被推出如下:</p><p><b> (3)</b></p><p><b> (4)</b></p><p><b> (5)
28、</b></p><p><b> (6)</b></p><p> 如果粗加工和精加工都用羅盤銑刀,為了確保當(dāng)直徑D=1.5mm時(shí)殘余高度h≦0.8μm,切削間距Ae≦0.07 mm。根據(jù)主軸轉(zhuǎn)速和切削深度,可推出粗加工時(shí)切削速度vc =0.133m/s,精加工時(shí)切削速度vc =0.095m/s。</p><p> 對于偏置
29、刀具(如圖8所示),一些方程式可被推出如下:</p><p><b> (7)</b></p><p><b> (8) </b></p><p><b> (9) </b></p><p> 如果粗加工和精加工時(shí)用偏置刀具,當(dāng)錐角θ=60°,刀尖半徑r =
30、0.1mm時(shí),為了確保殘余高度h≦0.8μm,切削間距Ae≦0.12mm。根據(jù)主軸轉(zhuǎn)速和切削深度,可推出粗加工時(shí)切削速度vc=0.05m/s,精加工時(shí)切削速度vc=0.04m/s。</p><p> 基于在切削中的這些參數(shù),我們可看出羅盤銑刀適合粗加工,偏置刀具適合精加工。</p><p> 3.5 機(jī)械加工結(jié)果</p><p> 基于上述工藝計(jì)劃和參數(shù)的選
31、擇,一個(gè)由硬鋁制造的人臉模型被制造了出來它的尺寸是5mm×3mm×1.1mm,如圖9所示。</p><p> 圖9 硬鋁制造的人臉模型</p><p><b> 4 結(jié)束語</b></p><p> 在本文中,描述了復(fù)雜形狀微小零件在MEMS中的重要作用,并且分析了相對于特種微型制造技術(shù)以及高能束微型制造技術(shù)而言,微
32、型切削工藝的優(yōu)點(diǎn)。在上述工作的基礎(chǔ)上,通過研究復(fù)雜形狀的建模設(shè)計(jì),刀具路徑的安排方式以及切削用量的最優(yōu)選擇,在自主研發(fā)的精密機(jī)床上制造出了一個(gè)以硬鋁為材料的典型的精度高的復(fù)雜形狀微小零件的樣品。</p><p><b> 參考文獻(xiàn):</b></p><p> [1] Holmes A. Developments in microengineering for th
33、e production of 3D micromachines. International Progress in Precision Engineering. France: Compiegne, 1995. 439-442.</p><p> [2] Yamagata Y, Higuchi T. Four axis ultraprecision machine tool and fabrication
34、of fabrication of microparts by precision cutting technique. International Progress in Precision Engineering. France: Compiegne, 1995. 413-416.</p><p> [3] Sun Jianghong, Chen Xiumei. Practical Tutorial for
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