以提高設(shè)備效率為目標(biāo)的預(yù)防性維護(hù)優(yōu)化.pdf

1、設(shè)備維護(hù)作為延長(zhǎng)設(shè)備壽命、降低生產(chǎn)成本和提高生產(chǎn)能力的有效途徑之一，倍受關(guān)注。一方面，不合理的維護(hù)所致的維修不足或維修過剩將給企業(yè)帶來嚴(yán)重的經(jīng)濟(jì)損失。另一方面，半導(dǎo)體設(shè)備及制造系統(tǒng)日趨復(fù)雜化為維護(hù)計(jì)劃的制定引入了更多的復(fù)雜因素，增加了其難度與挑戰(zhàn)。但也正是這樣，使得對(duì)此類設(shè)備的預(yù)防性維護(hù)計(jì)劃的研究顯得更為迫切與必要。 本論文正是針對(duì)上述問題，以半導(dǎo)體封裝測(cè)試瓶頸設(shè)備為主要的研究對(duì)象，以設(shè)備效率為決策原則進(jìn)行維護(hù)計(jì)劃優(yōu)化研究。在深

2、入剖析全局設(shè)備效率的組成及其與設(shè)備損失的關(guān)系基礎(chǔ)上，運(yùn)用時(shí)間延遲理論對(duì)設(shè)備的預(yù)防性維護(hù)計(jì)劃問題作了探索性的研究。主要內(nèi)容包括： 1．對(duì)半導(dǎo)體全局設(shè)備效率進(jìn)行全面詳盡的剖析，解析其具體組成與其對(duì)應(yīng)的設(shè)備損失來源，并通過嚴(yán)密的數(shù)學(xué)推導(dǎo)確立了以降低設(shè)備效率主要損失來源之一的非計(jì)劃故障時(shí)間及優(yōu)化預(yù)防性維護(hù)計(jì)劃為技術(shù)路線的、要求單位時(shí)間的總停機(jī)時(shí)間最少的維護(hù)策略。 2．以故障停機(jī)時(shí)間為目標(biāo)函數(shù)，以設(shè)備損失主要因素之設(shè)備故障時(shí)間及設(shè)

3、備預(yù)防性維護(hù)為研究對(duì)象，引入時(shí)間延遲維護(hù)優(yōu)化模型，在模型參數(shù)估計(jì)的基礎(chǔ)之上，突破當(dāng)前普遍的對(duì)于時(shí)間延遲維修模型的一般應(yīng)用方法，創(chuàng)新性的通過模型靈敏度分析將全員維護(hù)的主動(dòng)維護(hù)思想納入最優(yōu)維護(hù)計(jì)劃的制定中，提出了改進(jìn)的時(shí)間延遲維修模型應(yīng)用方法。通過靈敏度分析實(shí)現(xiàn)對(duì)模型穩(wěn)定性的評(píng)估和對(duì)各因變參數(shù)敏感度的識(shí)別，并在此基礎(chǔ)上確立了具體的預(yù)防性維護(hù)優(yōu)化策略。 3．通過實(shí)現(xiàn)基于故障預(yù)測(cè)的視情維護(hù)對(duì)優(yōu)化模型目標(biāo)函數(shù)的最敏感參數(shù)進(jìn)行積極控制，以作

4、用于目標(biāo)函數(shù)的是優(yōu)與最佳預(yù)防性維護(hù)周期的制定。采用基于數(shù)據(jù)的故障預(yù)測(cè)技術(shù)，以設(shè)備各狀態(tài)時(shí)間的記錄為數(shù)據(jù)源，引入基于R/S分析法的Hurst指數(shù)，建立故障預(yù)測(cè)建模，通過對(duì)設(shè)備主要故障模式的預(yù)測(cè)實(shí)現(xiàn)了以控制設(shè)備停機(jī)時(shí)間為目的的視情維護(hù)。 4．在以主客觀統(tǒng)計(jì)方法對(duì)預(yù)防性維護(hù)相關(guān)參數(shù)的再評(píng)估基礎(chǔ)之上，通過求解模型最優(yōu)解確定目標(biāo)函數(shù)次敏感參數(shù)維護(hù)周期的最佳值。并且對(duì)當(dāng)前維護(hù)計(jì)劃，基于一般時(shí)間延遲模型應(yīng)用方法的結(jié)果和本文提出的改進(jìn)時(shí)間延遲模