光學(xué)薄膜絕對反射率的高精度測量技術(shù)研究.pdf

1、隨著光學(xué)薄膜膜系設(shè)計理論和鍍膜技術(shù)的不斷成熟和完善，高反射率光學(xué)薄膜的設(shè)計和制備已經(jīng)成為現(xiàn)實，并且已經(jīng)廣泛應(yīng)用于激光技術(shù)的研究領(lǐng)域中，特別是在激光諧振腔中使用的高反膜鏡片對反射率要求更高。此外，在研究光學(xué)薄膜光學(xué)特性時其反射率是衡量薄膜光學(xué)特性的重要技術(shù)指標(biāo)。可以說光學(xué)薄膜反射率的精確測量已經(jīng)成為制約研究光學(xué)薄膜光學(xué)特性和高反射率光學(xué)薄膜制備與應(yīng)用的重要技術(shù)瓶頸。因此，對光學(xué)薄膜反射率的高精度測量技術(shù)研究具有重要的研究意義。 本

2、文首先對現(xiàn)有的各種反射率測量技術(shù)和方法進(jìn)行了介紹，并分析論述了各種測試方法的優(yōu)缺點和適用范圍，在對高反射率光學(xué)薄膜測量的測試量特性分析研究的基礎(chǔ)上提出了基于積分球的高反射率光學(xué)薄膜測試方案并進(jìn)行了理論論證和改進(jìn)完善。并具體展開對本測試方案的實現(xiàn)，進(jìn)行的主要工作包括以下幾方面：首先根據(jù)測試原理，完成了測試光路系統(tǒng)的設(shè)計和搭建，主要包括積分球各參數(shù)的設(shè)計及積分球的制作，掃描振鏡的選擇和調(diào)試，掃描振鏡擺角的確定等；根據(jù)測試信號很微弱的特點，選

3、擇靈敏度很高的光電池作為光電轉(zhuǎn)換器件，設(shè)計了靈敏度很高的測試電路系統(tǒng)，主要包括光電轉(zhuǎn)換電路，帶通濾波電路和前級放大電路等的設(shè)計和制作；通過與集成鎖相放大器的連接和調(diào)試最終完成整體測試系統(tǒng)的調(diào)試，并對測試樣品進(jìn)行實際測試，驗證其測試精度并對測試系統(tǒng)進(jìn)行了改進(jìn)和完善，標(biāo)定了系統(tǒng)的最終測試精度為0．05%，測試的高反膜鏡片反射率測試值最高為99．9%，對系統(tǒng)各部分的誤差影響因素進(jìn)行了定量分析，得出影響系統(tǒng)測試精度的主要誤差因素為整體測試電路的