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文檔簡介
1、曹飛個人版總結(jié)引言引言第一只晶體管第一只晶體管?第一只晶體管AT&TBellLab1947?第一片單晶鍺1952?第一片單晶硅1954(25mm，1英寸)?第一只集成電路（IC）TI1958?第一只IC商品Fairchild1961摩爾定律晶體管最小尺寸的極限摩爾定律晶體管最小尺寸的極限?價(jià)格保持不變的情況下晶體管數(shù)每12月翻一番，1980s后下降為每18月翻一番；?最小特征尺寸每3年減小70%?價(jià)格每2年下降50%；ICIC的極限的極
2、限?硅原子直徑:2.35；?形成一個器件至少需要20個原子；?估計(jì)晶體管最小尺寸極限大約為50或0.005um，或5nm。電子級多晶硅的純度電子級多晶硅的純度一般要求含si99.9999以上，提高純度達(dá)到99.9999999—99.999999999%（911個9）。其導(dǎo)電性介于1041010。電子級高純cm?多晶硅以9N以上為宜?！鰞α控S富，便宜；（27.6％）■SiO2性質(zhì)很穩(wěn)定、良好介質(zhì)，易于熱氧化生長；■較大的禁帶寬度（1.12
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