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文檔簡介
1、電容式觸摸屏的構(gòu)造主要是在玻璃屏幕上鍍一層透明的薄膜導(dǎo)體層,再在導(dǎo)體層外加上一塊保護玻璃,雙玻璃設(shè)計能徹底保護導(dǎo)體層及感應(yīng)器。電容式觸摸屏在觸摸屏四邊均鍍上狹長的電極,在導(dǎo)電體內(nèi)形成一個低電壓交流電場。在觸摸屏幕時,由于人體電場,手指與導(dǎo)體層間會形成一個耦合電容,四邊電極發(fā)出的電流會流向觸點,而電流強弱與手指到電極的距離成正比,位于觸摸屏幕后的控制器便會計算電流的比例及強弱,準確算出觸摸點的位置。電容觸摸屏的雙玻璃不但能保護導(dǎo)體及感應(yīng)器
2、,更有效地防止外在環(huán)境因素對觸摸屏造成影響,就算屏幕沾有污穢、塵埃或油漬,電容式觸摸屏依然能準確算出觸摸位置。電容式觸摸屏是在玻璃表面貼上一層透明的特殊金屬導(dǎo)電物質(zhì)。當手指觸摸在金屬層上時,觸點的電容就會發(fā)生變化,使得與之相連的振蕩器頻率發(fā)生變化,通過測量頻率變化可以確定觸摸位置獲得信息。由于電容隨溫度、濕度或接地情況的不同而變化,故其穩(wěn)定性較差,往往會產(chǎn)生漂移現(xiàn)象。該種觸摸屏適用于系統(tǒng)開發(fā)的調(diào)試階段。ITO薄膜概述摻錫氧化銦(Indi
3、umTinOxide),一般簡稱為ITO。ITO薄膜是一種n型半導(dǎo)體材料,具有高的導(dǎo)電率、高的可見光透過率、高的機械硬度和良好的化學(xué)穩(wěn)定性。因此,它是液晶顯示器(LCD)、等離子顯示器(PDP)、電致發(fā)光顯示器(ELOLED)、觸摸屏(TouchPanel)、太陽能電池以及其他電子儀表的透明電極最常用的薄膜材料。ITO薄膜發(fā)展真正進行ITO薄膜的研究工作還是19世紀末,當時是在光電導(dǎo)的材料上獲得很薄的金屬薄膜。關(guān)于透明導(dǎo)電材料的研究進入
4、一個新的時期還是應(yīng)該在第二次世界大戰(zhàn)期間,主要應(yīng)用于飛機的除冰窗戶玻璃。1950年,在第二種透明半導(dǎo)體氧化物In2O3首次被制成,特別是在In2O3里摻入錫以后,使這種材料在透明導(dǎo)電薄膜方面得到了普遍的應(yīng)用,并具有廣闊的應(yīng)用前景。ITO薄膜的基本性能一、ITO薄膜的基本性能ITO(In2O3:SnO2=9:1)的微觀結(jié)構(gòu),In2O3里摻入Sn后,元素可(ρ)就越小,反之亦然。而載流子濃度(n)與ITO薄膜材料的組成有關(guān),即組成ITO薄膜
5、本身的錫含量和氧含量有關(guān),為了得到較高的載流子濃度(n)可以通過調(diào)節(jié)ITO沉積材料的錫含量和氧含量來實現(xiàn);而載流子遷移率(T)則與ITO薄膜的結(jié)晶狀態(tài)、晶體結(jié)構(gòu)和薄膜的缺陷密度有關(guān),為了得到較高的載流子遷移率(T),可以合理的調(diào)節(jié)薄膜沉積時的沉積溫度、濺射電壓和成膜的條件等因素。所以從ITO薄膜的制備工藝上來講,ITO薄膜的電阻率不僅與ITO薄膜材料的組成(包括錫含量和氧含量)有關(guān),同時與制備ITO薄膜時的工藝條件(包括沉積時的基片溫度
6、、濺射電壓等)有關(guān)。有大量的科技文獻和實驗分析了ITO薄膜的電阻率與ITO材料中的Sn、元素的含量,O2以及ITO薄膜制備時的基片溫度等工藝條件之間的關(guān)系。三、通過低濺射電壓制備ITO薄膜的工藝和方法1、低電壓濺射制備ITO薄膜由于ITO薄膜本身含有氧元素,磁控濺射制備ITO薄膜的過程中,會產(chǎn)生大量的氧負離子,氧負離子在電場的作用下以一定的粒子能量會轟擊到所沉積的ITO薄膜表面,使ITO薄膜的結(jié)晶結(jié)構(gòu)和晶體狀態(tài)造成結(jié)構(gòu)缺陷。濺射的電壓越
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