0.13um工藝平臺(tái)下rfpdk套件的開(kāi)發(fā)與自動(dòng)化設(shè)計(jì)

1、 上海交通大學(xué)碩士學(xué)位論文 0.13um 工藝平臺(tái)下 RF PDK 套件的開(kāi)發(fā)與自動(dòng)化設(shè)計(jì) 碩 士 研 究 生：吳林 學(xué) 號(hào)：1112102010 導(dǎo) 師：施國(guó)勇 單 位：上海交通大學(xué) 副 導(dǎo) 師：黃勇 單 位：華潤(rùn)上華半導(dǎo)體有限公司 申 請(qǐng) 學(xué) 位：工程碩士 工 程 領(lǐng) 域：集成電路工程 專 業(yè) 方 向：軟件 班 級(jí)：Z1121021 學(xué) 院：微電子學(xué)院 上海交通大學(xué)碩士學(xué)位論文 I 0.13um 工藝平

2、臺(tái)下下 RF PDK 套件的開(kāi)發(fā)與自動(dòng)化設(shè)計(jì) 摘 要 工藝設(shè)計(jì)套件(Process Design Kit)是為模擬/混合信號(hào)集成電路設(shè)計(jì)而提供的完整設(shè)計(jì)文件的集合，是連接集成電路設(shè)計(jì)與集成電路工藝制造的完整數(shù)據(jù)平臺(tái)。 為了開(kāi)發(fā)出性能優(yōu)越的 PDK 套件，本文通過(guò)對(duì) PDK 不同開(kāi)發(fā)方式的比較， 證明了基于 PDK Automation System(PAS)工具對(duì) PDK 實(shí)現(xiàn)優(yōu)化開(kāi)發(fā)的優(yōu)越性。 并以此為基礎(chǔ)， 通過(guò)對(duì) 0.13um R

3、F 工藝 PDK 套件的技術(shù)文件、CDF 參數(shù)以及參數(shù)化單元(Pcell)的開(kāi)發(fā)，研究并討論了在 PDK 開(kāi)發(fā)過(guò)程中所采用的設(shè)計(jì)流程以及設(shè)計(jì)方法。 其中， 對(duì)于 PDK的核心組成部分 CDF 參數(shù)以及參數(shù)化單元(Pcell)的優(yōu)化開(kāi)發(fā)，文中進(jìn)行了詳細(xì)的介紹。在器件參數(shù)化設(shè)計(jì)(Pcell)方面，文中通過(guò)對(duì)器件結(jié)構(gòu)的細(xì)致分析，在傳統(tǒng)設(shè)計(jì)方法的基礎(chǔ)上對(duì)器件參數(shù)化設(shè)計(jì)方法進(jìn)行了優(yōu)化， 提出鏡像復(fù)制、 整體復(fù)制以及層次歸納等多種結(jié)構(gòu)優(yōu)化算法，并以

4、此設(shè)計(jì)出源程序可讀性和可維護(hù)性優(yōu)良、Pcell 運(yùn)算速度快、執(zhí)行效率高的器件參數(shù)化單元。另一方面對(duì)于 CDF 參數(shù)的開(kāi)發(fā)，文中通過(guò)對(duì)寫(xiě)回程序(callback)的定義，實(shí)現(xiàn)了對(duì) CDF 參數(shù)的多種操作功能，在CDF 參數(shù)間建立了簡(jiǎn)單有效的傳遞關(guān)系， 有效解決了 CDF 參數(shù)輸入超出工藝以及模型量測(cè)范圍的難題。 在 PDK 開(kāi)發(fā)的后期驗(yàn)證中， 針對(duì)于目前以人工建立 Pcell 測(cè)試模型的傳統(tǒng)驗(yàn)證方法， 文中提出了采用程序?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)化建立 P