外文翻譯---微型半導(dǎo)體流量傳感器的發(fā)展

1、中文 中文 6633 字 出處： 出處：Kohl F, Fasching R, Keplinger F, et al. Development of miniaturized semiconductor flow sensors[J]. Measurement, 2003, 33(2): 109-119.外文翻譯 外文翻譯譯文題目 微型半導(dǎo)體流量傳感器的發(fā)展 微型半導(dǎo)體流量傳感器的發(fā)展

2、 原稿題目 Development of miniaturized semiconductor flow sensors 原稿出處 Ludwig Boltzmann Institut für Biomedizinische Mikrotechnik, Wien, Austria 隨著工業(yè)、汽車、

3、家庭以及醫(yī)療應(yīng)用領(lǐng)域?qū)ξ⑿土髁總鞲衅鞯男枨笕找嬖鲩L，其測量原理有基于熱敏電阻、紅外線溫度傳感器、焦熱電元件、PN 結(jié)、惠斯登微型電橋、普朗特管和其它元件[1-10]。而微加工技術(shù)的使用，則實現(xiàn)高靈敏度、低功耗和快速響應(yīng)的目的。流量傳感器的一個重要應(yīng)用是在內(nèi)燃機瞬時進氣口中測量其進氣流量。如果一個人試圖最大限度地縮小發(fā)動機的燃料消耗和對環(huán)境造成的污染，那么了解燃燒過程參數(shù)的知識是必不可少的。為了這種發(fā)動機的發(fā)展，傳感器必須具備寬的速度測量

4、范圍以及能夠?qū)﹄S著時間變化的空氣流速進行高分辨率的檢測。這里所提到的熱式流量傳感器是基于傳熱原理，即加熱體被流過其表面的流體冷卻，而其冷卻速度取決于流體的流速[11]。這種傳感器是基于所謂的‘熱膜式’流量測量方法，其上有一層非常薄的氮化硅薄膜覆蓋在與一個與流道平齊且由微加工產(chǎn)生的硅基襯底上，如圖 1 所示。然后，一個薄膜加熱電阻被安放在襯底的對稱面上，以獲得對稱的表面溫度分布，而兩個膜片溫度測量電阻被分別放置在加熱電阻的上游和下游區(qū)域。

5、圖 1 熱膜式傳感器的橫截面和隔膜表面的溫度分布曲線圖H-加熱電阻；DT1、DT2-測溫傳感器當(dāng)有一個切向流體流過時，其表面的熱對稱性將被破壞。溫度較低的流體流過加熱電阻表面時，其一部分熱量被帶走，流體溫度上升，于是下游區(qū)域的冷卻效應(yīng)減小，而且在這個區(qū)域的溫度有可能比無流體流動時的表面溫度還要高。因此，在被冷卻的上游區(qū)域和被稍微冷卻（或被加熱）的下游區(qū)域之間形成一個溫度差，而這個溫度差信號可以轉(zhuǎn)變?yōu)殡妷盒盘栞敵?，并用作測量流體流速或質(zhì)量