新型高性能可見-近紅外光電探測器的研究.pdf

1、當(dāng)人類第一次睜開眼睛的時(shí)候，自然賦予人類的光電探測器“眼睛”，就這樣開始工作了。第一個(gè)真正意義上的光電探測器是在光電效應(yīng)提出之后制作出來的。與日俱增的市場需求促使光電探測器的研究快速發(fā)展，例如軍用設(shè)備市場強(qiáng)勁需求導(dǎo)致紅外探測的研究和生產(chǎn)快速增長。微電子工藝技術(shù)和新材料的迅猛發(fā)展，使得光電探測器的探測范圍從紫外到紅外區(qū)域均有大量相關(guān)的研究和應(yīng)用。但是，為了獲取更好的性能，更寬的探測范圍，研究人員集中精力致力于提高器件性能。本文將著重討論如

2、何采用拓?fù)浣^緣體材料和采用表面等離子共振增強(qiáng)技術(shù)制備新型高性能可見——近紅外光電探測器，具體內(nèi)容如下:
　　1.拓?fù)浣^緣體是一類內(nèi)部絕緣，表面呈現(xiàn)金屬特性的材料，該材料表面對旋光有響應(yīng)，基于以上特性考慮用拓?fù)浣^緣體碲化銻制備光電探測器。本文是采用分子束外延的方法制備拓?fù)浣^緣體碲化銻薄膜，并利用ARPES，XRD等方法表征碲化銻薄膜，發(fā)現(xiàn)所制備的碲化銻薄膜單晶性能良好。采用微電子加工工藝制備基于該材料的近紅外光電探測器。通過半導(dǎo)體測

3、試系統(tǒng)的電學(xué)表征發(fā)現(xiàn)，利用該撲絕緣體制備的近紅外光電探測器具有很高的光電導(dǎo)增益、光響應(yīng)，分別達(dá)到27.4，21.7AW-1。
　　2.表面等離子共振技術(shù)是采用金屬納米顆?；蛘呤茄趸锛{米顆粒修飾器件的表面，當(dāng)尺寸滿足一定條件的時(shí)候，可以增強(qiáng)器件對光的吸收，從而提高器件的性能。本文首先采用化學(xué)氣相沉積法制備碲化鋅納米線，并用水熱法將一部分納米線修飾金納米顆粒，將修飾前后的碲化鋅納米線制備成光電導(dǎo)型的綠光探測器。通過光電表征分析發(fā)現(xiàn)，