集成電路制造工藝教案

1、名師精編 精品教案四川信息職業(yè)技術(shù)學(xué)院教 案課程編碼： 0231124 課程名稱： 集成電路制造工藝 課程性質(zhì)： 必修課 總學(xué)時(shí)/學(xué)分： 64/4 授課專業(yè)： 微電子技術(shù) 授課教師：

2、 王志強(qiáng) 使用學(xué)期： 2012 —2013 學(xué)年第 1 學(xué)期 教研室審批意見(jiàn)及時(shí)間： 名師精編 精品教案課程授課學(xué)時(shí)安排表 課程授課學(xué)時(shí)安排表班號(hào) 班號(hào)/周次 周次 編 號(hào) 1 2單元或項(xiàng)目名稱 單元或項(xiàng)目名稱 計(jì)劃 計(jì)劃學(xué)時(shí) 學(xué)時(shí) 備注 備注1 1 緒論Ⅰ 2 理論課2 1 緒論Ⅱ 2 理論課3 1 硅晶圓片制造技術(shù)—硅及材料；單晶硅材料； 2 理論課4 2

3、硅晶圓片制造技術(shù)—晶圓加工成形 2 理論課5 2 硅外延生長(zhǎng) 2 理論課6 2 物質(zhì)形態(tài)及材料屬性工藝用化學(xué)品 2 理論課7 3 玷污的類型及玷污與控制 2 理論課8 3 硅片濕法清洗 2 理論課9 3 集成電路測(cè)量學(xué)及質(zhì)量測(cè)量 2 理論課10 4 硅片的質(zhì)量分析設(shè)備 2 理論課11 4 集成電路芯片制造工藝概述Ⅰ 2 理論課12 4 集成電路芯片制造工藝概述 Ⅱ 2 理論課13 5 氧化技術(shù)—Si02 及掩蔽作用； 2 理論課1

4、4 5 氧化技術(shù)—熱氧化及熱氧化生長(zhǎng)動(dòng)力學(xué)； 2 理論課15 5 氧化技術(shù)——氧化速率及雜質(zhì)再分布 2 理論課16 6 擴(kuò)散機(jī)構(gòu)及雜質(zhì)濃度分布； 2 理論課17 6 常用雜質(zhì)的擴(kuò)散方法 2 理論課18 6 擴(kuò)散層參數(shù)測(cè)量和質(zhì)量分析 2 習(xí)題課19 7 半期考試 理論課20 7 光刻技術(shù)—光刻工藝要求及光刻膠 2 理論課21 7 光刻技術(shù)—光刻工藝Ⅰ 2 理論課22 12 光刻技術(shù)—光刻工藝Ⅱ及質(zhì)量分析 2 理論課23 12 刻蝕—濕法刻