微機械彎曲加載機構(gòu)設(shè)計.pdf

1、隨著微器械發(fā)展，設(shè)計時對相應(yīng)機械微構(gòu)件不但要實現(xiàn)功能性設(shè)計，還需要考慮材料特性參數(shù)對所設(shè)計部件的影響。而微構(gòu)件機械的力學(xué)特性數(shù)據(jù)對MEMS結(jié)構(gòu)設(shè)計具有重要的影響，因此需要一種可以獲取微構(gòu)件力學(xué)特性的測試方法。本論文以微梁彎曲法為基礎(chǔ)，設(shè)計了一套包含具有微力和微位移測量的微驅(qū)動定位、加載以及夾持機構(gòu)的力學(xué)測量系統(tǒng)，能夠測量微結(jié)構(gòu)力學(xué)性能指標(biāo)包括變形與應(yīng)變、彈性模量、泊松比等參數(shù)。建立適用于微機構(gòu)力學(xué)特性測量方法基本模型，為今后微納力學(xué)特性

2、的高準(zhǔn)確度測量研究與開發(fā)提供研究基礎(chǔ)。
　　論文的主要研究內(nèi)容包括:
　　1.利用Ansys仿真分析了二級與三級對稱式柔性鉸鏈放大機構(gòu)，給出不同級放大比對總體放大參數(shù)的影響規(guī)律。
　　2.完成了適用于微構(gòu)件彎曲測量的機械結(jié)構(gòu)設(shè)計，包括加載機構(gòu)和試件夾持機構(gòu)，其中加載機構(gòu)采用宏微結(jié)合二級加載方式，宏驅(qū)動實現(xiàn)快速逼近，微驅(qū)動實現(xiàn)彎曲測試所需的精密位移進給;夾持機構(gòu)可以有效實現(xiàn)所設(shè)計的試件的準(zhǔn)確定位和可靠夾持。
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