基于LabVIEW的朗謬探針診斷系統(tǒng)的研制及應用.pdf

1、近年來，低溫等離子體技術在工業(yè)中得到了廣泛的應用，而其中微波放電等離子體技術也越來越受到人們的關注，如何對等離子體參數進行有效的控制，在實際應用中具有了越來越重要的作用?？刂频入x子體參數的重要前提就是能夠準確的獲得等離子體的各項參數。在眾多的等離子體診斷手段中，Langmuir探針以其結構簡單、操作方便、適用范圍廣、獲得信息量豐富等特點，成為了低溫等離子體診斷領域中一項重要的分析工具。以往實驗室所采用的Langmuir探針診斷系統(tǒng)，以手

2、動的方式進行測量，不僅速度慢、可控性差，而且精度低、抗干擾能力不強。因此，需要設計一種快速、準確、抗干擾能力強的自動化診斷系統(tǒng)，用以提高實驗室的診斷效率。
　　 本文介紹了一種自行設計的應用于微波放電等離子體的自動化Langmuir探針診斷系統(tǒng)，該診斷裝置主要由Langmuir探針、硬件電路和軟件程序組成。其中硬件電路以采集卡為核心，包括掃描電源輸出部分和電壓電流檢測部分；軟件程序采用LabVIEW軟件編程，包括數據采集控制程序

3、和數據分析程序兩部分。本文對硬件部分的工作原理和軟件部分的編程思路都進行了詳細的介紹。
　　 本文所介紹的自動化Langmuir探針診斷系統(tǒng)已經能夠運用于實際的實驗測量中，用于測量實驗室的微波放電大面積表面波等離子體，取得了較為滿意的實驗結果。本文將就實驗操作的各個部分進行詳細的介紹，分別介紹每一步所能獲得的實驗數據。為了分析各項可控參數對等離子體參數的影響，我們改變實驗條件，進行多組數據測量后獲取等離子體參數，對獲得的實驗結果