朗繆爾探針診斷系統(tǒng)的研制及其應(yīng)用.pdf

1、隨著低溫等離子體技術(shù)在工業(yè)中應(yīng)用的日益廣泛，對等離子體參數(shù)的控制越來越受到關(guān)注。而控制參數(shù)的前提是要能夠準確的獲得等離子體的各種參數(shù)信息。朗繆爾探針法因其裝置結(jié)構(gòu)簡單、成本低廉以及獲得的等離子體信息相對較豐富，而成為目前應(yīng)用最廣泛的一種低溫等離子體診斷方法。然而，目前國內(nèi)多數(shù)朗繆爾探針系統(tǒng)還是由分離元件臨時搭建，以人工調(diào)節(jié)的方式進行測量，不僅速度慢、精確度低，而且抗干擾能力不強。因此，研制一種全自動、高精度、抗干擾的朗繆爾診斷系統(tǒng)是十分

2、有意義的。
　　 本文設(shè)計了一種基于采集卡的新型朗繆爾探針診斷系統(tǒng)，主要由采集卡、掃描電源電路、電壓和電流檢測電路、硬件抗干擾環(huán)節(jié)以及相應(yīng)的軟件構(gòu)成。在硬件電路中，由于采用了新型的采集卡，以及合理的電路設(shè)計，使得系統(tǒng)具有較快的測量速度與較高的測量精度；同時加入了電磁兼容設(shè)計環(huán)節(jié)，提高了裝置的抗干擾能力。在軟件方面，除了基本的驅(qū)動和采集功能外，也加入了數(shù)字濾波環(huán)節(jié)，以彌補硬件濾波靈活性的不足，進一步提高了裝置的抗干擾能力，也使得其