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文檔簡介
1、近年來,由于X射線光刻技術(shù),空間技術(shù),以及激光引爆的慣性約束聚變(ICF)的過程診斷等的需要,X射線成像技術(shù)迅速發(fā)展。X射線在介質(zhì)中被強(qiáng)烈地吸收,再加上介質(zhì)的折射率在X射線波段略小于1,這些因素給X射線成像增加了很多難度,常規(guī)的成像方法難以適應(yīng)X射線波段。目前多采用掠入射反射成像和編碼孔徑成像方法。本文詳細(xì)論述了Wolter Ⅰ型X射線掠入射成像系統(tǒng)的發(fā)展及研究現(xiàn)狀,主要介紹了WolterⅠ型望遠(yuǎn)鏡的設(shè)計(jì)過程并對(duì)所設(shè)計(jì)的系統(tǒng)進(jìn)行了像差分
2、析和成像質(zhì)量評(píng)價(jià)。鑒于掠入射系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的特殊性,一般的光學(xué)設(shè)計(jì)CAD軟件很難適應(yīng),我們編寫了適用于Wolter望遠(yuǎn)鏡系統(tǒng)的光路計(jì)算程序,并利用這個(gè)程序進(jìn)行了大量的光路計(jì)算。 本文從光學(xué)設(shè)計(jì)的角度出發(fā),在Wolter Ⅰ型望遠(yuǎn)鏡的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、像差分析和成像質(zhì)量評(píng)價(jià)等方面做了深入的研究和分析,并提供了大量的數(shù)據(jù),這些數(shù)據(jù)是分析Wolter Ⅰ型望遠(yuǎn)鏡系統(tǒng)的合理性及系統(tǒng)加工和調(diào)裝的可靠依據(jù)。從分析的結(jié)果來看,所設(shè)計(jì)的Wolter Ⅰ型望遠(yuǎn)
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