光學(xué)微掃描X射線(xiàn)實(shí)時(shí)成像系統(tǒng)研究.pdf

1、隨著被檢測(cè)工件如印制電路板、集成電路的集成度越來(lái)越高，電路的特征尺寸越來(lái)越小，對(duì)電路板等工業(yè)產(chǎn)品進(jìn)行缺陷檢測(cè)的X射線(xiàn)實(shí)時(shí)成像系統(tǒng)的空間分辨力要求也越來(lái)越高，現(xiàn)有系統(tǒng)的空間分辨力難以滿(mǎn)足需要高分辨力成像的場(chǎng)合。本文利用當(dāng)前迅速發(fā)展的X射線(xiàn)實(shí)時(shí)成像技術(shù)和光學(xué)微掃描技術(shù)，研究低成本高性能的高分辨力光學(xué)微掃描X射線(xiàn)成像系統(tǒng)。
　　首先，提出并設(shè)計(jì)了一種帶有微掃描裝置的X射線(xiàn)實(shí)時(shí)成像系統(tǒng)，該系統(tǒng)通過(guò)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)X射線(xiàn)平板探測(cè)器實(shí)現(xiàn)高精度的微

2、掃描。分析了微掃描的工作原理，詳細(xì)給出了微掃描器相關(guān)的參數(shù)設(shè)計(jì)、系統(tǒng)微位移容差，并與現(xiàn)有的X射線(xiàn)成像系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了一體化設(shè)計(jì)。
　　其次，針對(duì)X射線(xiàn)實(shí)時(shí)成像系統(tǒng)的成像特點(diǎn)，研究了一種適用于該系統(tǒng)的精度高、實(shí)時(shí)性好的亞像素級(jí)頻域圖像配準(zhǔn)技術(shù)。給出了圖像配準(zhǔn)方法的原理、流程及具體步驟。最后針對(duì)不同算法進(jìn)行了仿真研究，，結(jié)果表明改算法有效性地將X射線(xiàn)圖像配準(zhǔn)的精度提高到亞像素級(jí)，為后續(xù)的超分辨力重建奠定基礎(chǔ)。
　　最后，針對(duì)X射線(xiàn)序列

3、圖像幀間的誤差，將一種考慮到配準(zhǔn)參數(shù)和點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)的估計(jì)誤差以及在低分辨力序列圖像中的加性高斯噪聲的圖像超分辨力重建算法應(yīng)用于微掃描X射線(xiàn)實(shí)時(shí)成像系統(tǒng)。根據(jù)低分辨力圖像的可靠性和正則化參數(shù)對(duì)其進(jìn)行自適應(yīng)加權(quán)進(jìn)而進(jìn)行超分辨力重建。該方法可利用采集的欠采樣圖像獲得高分辨力過(guò)采樣圖像，系統(tǒng)空間分辨力得到提高。
　　本文設(shè)計(jì)了帶有微掃描裝置的X射線(xiàn)實(shí)時(shí)成像系統(tǒng)，對(duì)高分辨力光電成像系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，具有重要的參考價(jià)值。通過(guò)進(jìn)一步的硬件化，可望得到高