

版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡(jiǎn)介
1、近些年,光通信技術(shù)快速發(fā)展,構(gòu)建全光通信網(wǎng)絡(luò)的集成光學(xué)器件成為研究熱點(diǎn),而波導(dǎo)器件,是許多集成光學(xué)器件的重要組成部分,僅波導(dǎo)光柵這一種單一結(jié)構(gòu)就具有耦合、分束、反射、濾波、聚焦、衍射分光等各種功能。LiNbO3晶體具有電光、非線性、光折變效應(yīng)等光學(xué)性質(zhì)于一身,具有穩(wěn)定性好,易生長(zhǎng)和拋光,成本低,在0.4~5m波長(zhǎng)范圍通光性良好等優(yōu)點(diǎn),是十分優(yōu)質(zhì)的電光材料。而且LiNbO3波導(dǎo)的制作技術(shù)已經(jīng)十分成熟,目前應(yīng)用較為廣泛的LiNbO3波導(dǎo)工藝
2、是Ti擴(kuò)散法以及質(zhì)子交換法(Proton Exchange:PE),波導(dǎo)光柵的制作工藝目前較為常用的則有電子束刻蝕、聚焦粒子束蝕刻、光折變法以及飛秒激光器刻寫等。
本文采用X切LiNbO3晶體作為波導(dǎo)的基底材料,對(duì)制作的波導(dǎo)進(jìn)行分析研究,并在其表面進(jìn)行光柵刻寫的初期實(shí)驗(yàn)研究。具體工作如下:
第一,通過理論分析給出單模傳輸條件及有效折射率,對(duì)不同的波導(dǎo)尺寸對(duì)損耗大小的影響進(jìn)行分析,得出結(jié)論:波導(dǎo)損耗隨尺寸的增大而減少的
3、;利用Ti擴(kuò)散法制備X切LiNbO3波導(dǎo),制備的波導(dǎo)長(zhǎng)13.5mm,寬8m,對(duì)制備的波導(dǎo)進(jìn)行有效折射率,膜厚,損耗測(cè)量。在制備過程中發(fā)現(xiàn)勻膠時(shí)樣品與光刻膠間具有較高溫度差,對(duì)波導(dǎo)的損耗產(chǎn)生影響,對(duì)此進(jìn)行對(duì)比實(shí)驗(yàn),實(shí)驗(yàn)結(jié)果發(fā)現(xiàn)降溫后的波導(dǎo)具有更低的損耗。
第二,在制備的Ti擴(kuò)散LiNbO3波導(dǎo)上刻寫布拉格光柵,由于Ti擴(kuò)散的LiNbO3波導(dǎo)可同時(shí)傳輸TE模式和TM模式,所以該波導(dǎo)光柵具有雙波長(zhǎng)濾波的功能。分析光柵的蝕刻占空比,蝕
4、刻角度及蝕刻深度對(duì)其性能的影響,得出結(jié)論:在占空比為1/2,蝕刻角度小于15度時(shí),波導(dǎo)光柵有最大反射率,波導(dǎo)光柵的反射率及帶寬隨著蝕刻深度的增加而增加。
第三,提出了一種利用飛秒激光器刻寫光柵的裝置及方法,該裝置簡(jiǎn)單靈活,可以刻寫不同類型的光柵,而且詳細(xì)介紹了刻寫不同類型光柵的方法,基于上面提出的刻寫裝置,在LiNbO3上進(jìn)行了初期實(shí)驗(yàn)研究,對(duì)光功率以及照射時(shí)間進(jìn)行對(duì)比,并對(duì)得到數(shù)據(jù)的進(jìn)行采集以及分析,最終得出刻寫光柵較為合適
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 基于光折變的LiNbO3波導(dǎo)光柵及其應(yīng)用研究.pdf
- 基于LiNbO3的快速可調(diào)諧Bragg波導(dǎo)光柵的設(shè)計(jì).pdf
- LiNbO3及摻鎂LiNbO3晶體THz輻射特性的晶格動(dòng)力學(xué)研究.pdf
- 摻雜LiNbO3薄膜的制備及磁性研究.pdf
- 感光溶膠-凝膠法制備LiNbO3光柵及其衍射性能研究.pdf
- LiNbO3的光波導(dǎo)特性研究和平板光子晶體結(jié)構(gòu)的制備.pdf
- LiNbO3波導(dǎo)電光A-D轉(zhuǎn)換器技術(shù)研究.pdf
- 基于Ti擴(kuò)散LiNbO-,3-晶體光波導(dǎo)的長(zhǎng)周期光柵.pdf
- 磁控濺射法制備硅基LiNbO3光波導(dǎo)薄膜材料研究.pdf
- 基于Ti-LiNbO3長(zhǎng)周期波導(dǎo)光柵的電光調(diào)諧超寬帶濾波器的研究.pdf
- 基于鈦擴(kuò)散鈮酸鋰(Ti-LiNbO3)光波導(dǎo)的電光長(zhǎng)周期光柵的實(shí)驗(yàn)研究.pdf
- 基于LiNbO3馬赫-曾德爾調(diào)制器的UWB信號(hào)調(diào)制的研究.pdf
- 19241.基于linbo3晶體拉曼散射的thz輻射機(jī)制及性能的研究
- 共摻雜LiNbO3薄膜鐵磁性鐵電性能的研究.pdf
- 摻雜LiNbO3薄膜制備及鐵電鐵磁性能研究.pdf
- LiNbO3:Mn單晶的電子自旋共振實(shí)驗(yàn)及分析.pdf
- 硅基LiNbO3壓電薄膜多層結(jié)構(gòu)的制備與表征.pdf
- 新型LiNbO-,3-波導(dǎo)光開關(guān)的研究.pdf
- 基于拉錐光纖和LiNbO3介質(zhì)的光學(xué)梳狀濾波器的研究.pdf
- Mn、Cu、Ba共摻雜LiNbO3薄膜鐵電鐵磁性能的研究.pdf
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論