2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
已閱讀1頁,還剩69頁未讀, 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權,請進行舉報或認領

文檔簡介

1、聲表面波器件(SAW)因具有小型化、平面結(jié)構(gòu)、設計簡單等特點,在社會的各個領域得到了廣泛的應用。隨著SAW產(chǎn)品的大規(guī)模普及,聲表面波器件的頻帶在較低段已經(jīng)達到飽和,這嚴重制約了SAW產(chǎn)品的發(fā)展。因此,除了微型化和低插入損耗外,向高頻發(fā)展成了SAW器件一個不可逃避的實現(xiàn)。LiNbO3作為一種較早被發(fā)現(xiàn)的具有良好壓電性能的壓電材料,一直倍受研究者的青睞,加之金剛石的高聲速特性,給SAW器件帶來更好的發(fā)展前景。
  本文探討了SAW用金

2、剛石多晶薄膜的制備,高度C軸取向LiNbO3壓電層的制備,在總結(jié)了LiNbO3薄膜制備研究現(xiàn)狀并結(jié)合理論分析的基礎上提出了LiNbO3\SiO2\diamond\Si多層結(jié)構(gòu),旨在提高SAW器件的中心頻率。
  我們用激光脈沖沉積(PLD)技術,通過對一些主要參數(shù)的探討,主要得到了以下結(jié)果:
  1.在未施加誘導電場的情況下采用PLD技術在熱氧化的(100)硅片襯底上生長出了具有良好晶體質(zhì)量的完全C軸取向LiNbO3薄膜。系

3、統(tǒng)研究了工藝參數(shù)對LiNbO3薄膜質(zhì)量的影響,獲得了生長LiNbO3薄膜的最佳工藝參數(shù):襯底溫度約為650℃,氧壓約為50Pa,激光頻率約為3Hz,靶材與襯底距離約為4cm。
  2.在未施加誘導電場的情況下采用PLD技術在沉積有非晶二氧化硅的(100)硅片襯底上生長出了具有良好晶體質(zhì)量的完全C軸取向LiNbO3薄膜。系統(tǒng)研究了工藝參數(shù)對LiNbO3薄膜質(zhì)量的影響,獲得了生長LiNbO3薄膜的最佳工藝參數(shù):襯底溫度約為700℃,氧

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預覽,若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權或不適當內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論