諧振頻率溫度系數(shù)近零TiO2-(Zn1-3Nb2-3)O2-ZrO2系微波介質(zhì)陶瓷.pdf

1、在過(guò)去的幾十年中，微波介質(zhì)陶瓷在諧振器、濾波器等方面的應(yīng)用已經(jīng)受到社會(huì)廣泛的關(guān)注。在移動(dòng)通信發(fā)展越來(lái)越便捷的現(xiàn)在，人們對(duì)微波介質(zhì)陶瓷的性能提出了更高的要求。在諧振器、濾波器方面的應(yīng)用上通常要求微波介質(zhì)陶瓷滿足三個(gè)條件：（1）中介電常數(shù)（25<εr<50）；（2）高品質(zhì)因數(shù)（Q×f>40000GHz）；（3）以及諧振頻率溫度系數(shù)近零（–10≤τf≤10ppm/℃）。本文確定以摻雜0.5wt％CuO的xTiO2-y(Zn1/3Nb2/3)O

2、2-(100–x–y)ZrO2三元微波介電陶瓷體系作為研究對(duì)象，利用矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀、掃描電鏡（SEM）、X射線衍射（XRD）等儀器系統(tǒng)地研究陶瓷配方組成、燒結(jié)溫度、顯微結(jié)構(gòu)和微波介電性能之間的關(guān)系。
　　本文首先研究xTiO2-y(Zn1/3Nb2/3)O2-(100–x–y)ZrO2（y=14-28；3(x–40)=8(y–20)）陶瓷。研究表明，在摻雜0.5wt%CuO情況下，所有陶瓷樣品的最佳燒結(jié)溫度在1260-1300℃之

3、間，最大密度隨著y的增加從5.10g/cm3降低到4.56g/cm3；當(dāng)y=18-24時(shí)，在1260-1300℃燒結(jié)后，陶瓷樣品的諧振頻率溫度系數(shù)均近零（–10≤τf≤10ppm/℃），并且其他微波介電性能良好：εr=37-43，Q×f=21000-28000GHz@~4.8-5.8GHz。
　　本文接著研究了xTiO2-y(Zn1/3Nb2/3)O2-(100–x–y)ZrO2（y=29.56-66.67；20(x–44.17)