硅微機械陀螺敏感結(jié)構(gòu)的理論研究.pdf

1、硅微機械陀螺是一種利用哥氏效應(yīng)敏感物體轉(zhuǎn)動角速率的MEMS慣性傳感器。它能夠在同一塊硅片上集成敏感結(jié)構(gòu)和外圍測控電路，具有成本低、體積小、重量輕、功耗低等優(yōu)點，在軍事、民用領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。自上世紀90年代以來一直處于快速發(fā)展中，是各國研究熱點之一。
　　敏感結(jié)構(gòu)是硅微機械陀螺的核心部件，其與陀螺的標度因數(shù)、零偏以及抗振動等性能直接相關(guān)。本文以課題組自主設(shè)計的雙質(zhì)量線振動硅微機械陀螺為研究對象，對其敏感結(jié)構(gòu)的剛度矩陣、多模態(tài)

2、固有頻率、正交誤差以及阻尼特性展開理論分析，為高性能硅微機械陀螺的設(shè)計優(yōu)化提供實際指導和理論依據(jù)。
　　本文首先對硅微機械陀螺的信號轉(zhuǎn)換機制以及敏感結(jié)構(gòu)的理論基礎(chǔ)進行了研究。構(gòu)建了陀螺輸出信號與敏感結(jié)構(gòu)關(guān)鍵參量的關(guān)系，說明敏感結(jié)構(gòu)理論研究的重要性。介紹了敏感結(jié)構(gòu)的支撐系統(tǒng)及其低階模態(tài)，分析了干擾模態(tài)對陀螺性能的影響機理。利用彈性理論建立驅(qū)動梁的剛度公式，并對剛度公式進行了仿真驗證。在此基礎(chǔ)上，建立了敏感結(jié)構(gòu)的剛度矩陣。闡述了敏感結(jié)

3、構(gòu)的能量耗散機理，介紹了敏感結(jié)構(gòu)的真空封裝方法，給出品質(zhì)因數(shù)的實驗結(jié)果。
　　其次，對敏感結(jié)構(gòu)的多模態(tài)固有頻率進行了理論研究。將敏感結(jié)構(gòu)看作多模態(tài)系統(tǒng)，分別構(gòu)建其低階模態(tài)的等效模型。利用能量法對低階模態(tài)的模態(tài)剛度進行理論分析，建立了敏感結(jié)構(gòu)多模態(tài)固有頻率的理論模型。利用有限元法對敏感結(jié)構(gòu)進行了模態(tài)分析，并且對敏感結(jié)構(gòu)進行了模態(tài)識別實驗。理論計算結(jié)果與仿真結(jié)果和實驗結(jié)果的最大誤差分別為8.63％和10.56％。給出了敏感結(jié)構(gòu)的模態(tài)設(shè)

4、計原則，并利用已建立的理論模型對敏感結(jié)構(gòu)進行模態(tài)定階。
　　第三，對敏感結(jié)構(gòu)的正交誤差進行了理論研究。構(gòu)建了有加工誤差時敏感結(jié)構(gòu)的剛度矩陣。在此基礎(chǔ)上，建立了硅微機械陀螺正交誤差理論模型。理論計算了直接耦合系數(shù)的取值范圍為4.74×10-5～2.33×10-4，二次耦合系數(shù)的取值范圍為8.44×10-7～2.03×10-5。計算了正交耦合系數(shù)最大值為9.35×10-4，并通過仿真分析對理論計算結(jié)果進行驗證。結(jié)合理論模型，提出基于驅(qū)

5、動梁合理設(shè)計的正交誤差抑制方法。對正交誤差進行了實驗分析，得到正交耦合系數(shù)的取值范圍為1.08×10-4～4.13×10-4。
　　第四，對敏感結(jié)構(gòu)的阻尼特性進行了理論研究。建立驅(qū)動梁的熱彈性耦合方程并對其求解，得到熱彈性阻尼的復頻率模型，理論計算得到熱彈性阻尼的大小為9.19×10-6。利用熱能量方法對熱彈性阻尼進行仿真分析，理論結(jié)果與仿真結(jié)果的誤差為1.88％。結(jié)合陀螺性能指標提出品質(zhì)因數(shù)的設(shè)計要求，分析得到驅(qū)動梁梁寬和驅(qū)動模

6、態(tài)固有頻率的設(shè)計導向圖。構(gòu)建了熱彈性阻尼的溫度特性理論模型，計算得到常溫下熱彈性阻尼的溫度系數(shù)為9.76×10-3/℃。對熱彈性阻尼的溫度系數(shù)進行了仿真分析和實驗分析，理論計算結(jié)果與仿真結(jié)果和實驗結(jié)果的誤差分別為2.01％和7.50％。
　　最后，對優(yōu)化后敏感結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵參量進行了仿真分析和實驗分析，驗證了敏感結(jié)構(gòu)優(yōu)化的有效性和合理性。依據(jù)IEEE的陀螺測試標準對硅微機械陀螺整表進行了性能測試，得到陀螺的標度因數(shù)為8193.77L