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1、北京機(jī)械工業(yè)學(xué)院碩士學(xué)位論文硅微機(jī)械陀螺相位研究與信號(hào)處理姓名:王領(lǐng)申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:碩士專業(yè):微電子學(xué)與固體電子學(xué)指導(dǎo)教師:張福學(xué)20080101ABSTRACTABSTRACTMEMSGyroscopeisoneofthenovelresearchdirectionsininertialnavigationsensorandpossessesthebrightapplicationfutureThispaperpresentedthep
2、haseandsignalcompensatingforanovelsiliconmicromachinedgyroscopeTheMEMSgyroscopewhichdrivenbyrollingforceofrotatingcarriercanmeasurebothdeflexionandspinanglerateTheauthordiscusestheworkingprinciple,phaseinfluenceandsignal
3、processingofthegyroscope,andproposestakingaccelerometerofgravityasthecoordinateofinertialspacetoprocesstheoutputsignalofgyroscopeThepaperanalysestheconfigurationofthegyroscopebaseonthetechnicsflowandresearchtheworkingpri
4、nciplebydynamicsequationofMEMSgyroscopeThepolarityofoutputsignalisdifferencefromtraditiongyroscopebecauseoftheparticularityoftheframeThepolarityoftheMEMSgyroscopeisnotconfirmedbyoutputvoltageastraditionbutthephaseofoutpu
5、tsignalSophaseofgyroscopeplaysanimportantpartinthecourseofsignalprocessingBaseonit,IproposethemethodwhichcanbeimplementinginprojectNamelyaddingaaccelerometerintheoldcircuitthenbaseonthebenchmarkofreferencecoordinatewhich
6、getfromtheoutputsignalofaecelerometer,wecanobtainthedeflexionpolaritybycomparingtheexceedorlagofphaseinthebenchmarkMore,wecangetthedeflexionorientationininertiaspacebymeasuringthephasemovingThedetectingoffaintnesssignali
7、sthekeytechnologyininterfacecircuitdesigningofMEMSgyroscopeThePapermodifiestheoldanalogcircuitanddesignsthedigitalcircuitforprocessingandcompensatingofsignalSignalprocessingmostlyseparatesthepitchingandyawingsignalandcom
8、pensatingmainlyaimsattheinfluenceofthechangingofcarrierselfrollingAtlastthePaperresearchesthetestingscheme,testingtoolandtestingprocessingofMEMSgyroscope,andtheauthorproposestheameliorationmethodofoutputsignalbyanalyzing
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