周期性二維微納光學結(jié)構(gòu)的制備.pdf

1、基于納米壓印技術(shù)與反應(yīng)離子刻蝕技術(shù)可以高效的實現(xiàn)微納米結(jié)構(gòu)高精度、低成本、高產(chǎn)出的結(jié)構(gòu)復制。但是目前基于納米壓印技術(shù)的微納結(jié)構(gòu)復制還存在著以下問題：由于納米壓印技術(shù)為1:1復制，壓印使用的模板需具有足夠精度，目前大多采用電子束直寫等方式加工，這就帶來了模板加工成本高昂、加工效率較低的問題。
　　課題“周期性二維微納光學結(jié)構(gòu)的制備”針對上述問題，結(jié)合納米粒子自組裝技術(shù)進行理論分析和實驗研究，通過基于納米粒子自組裝技術(shù)完成納米壓印中的

2、周期性二維模板制備，為更低成本、更高效率的納米壓印技術(shù)提供技術(shù)基礎(chǔ)。
　　本文主要完成以下工作：
　　一、對以周期性介質(zhì)微納結(jié)構(gòu)和周期性金屬微納結(jié)構(gòu)為典型的周期性二維微納光學結(jié)構(gòu)的特點及應(yīng)用現(xiàn)狀進行研究，對當前周期性二維微納結(jié)構(gòu)的制備工藝的發(fā)展進行了研究。針對當前納米壓印技術(shù)模板制備成本高、加工效率低的問題提出了基于納米粒子自組裝制備壓印模板的方法。
　　二、在前人對分子自組裝的理論研究的基礎(chǔ)上，進一步對納米粒子自組裝

3、過程進行分析，并對其作為一種微納米加工方式的特點進行討論。分析了納米粒子在進行自組裝時多個因素對其成膜的影響，力圖向基于納米粒子自組裝制備納米壓印模板提供理論指導。
　　三、基于本課題對納米粒子自組裝的理論分析和實驗指導，完成納米粒子自組裝獲得周期行二維結(jié)構(gòu)。對反應(yīng)離子刻蝕技術(shù)進行研究，在完成基于納米粒子自組裝的周期性二維結(jié)構(gòu)后，完成壓印模板的制備。
　　四、對納米壓印技術(shù)進行研究，并以500納米線寬，1000納米周期的二維