摻鎳納米微粒HfO2薄膜的電荷存儲(chǔ)特性.pdf

1、0010碩士學(xué)位論文碩士學(xué)位論文摻鎳納米微粒摻鎳納米微粒HfO2薄膜的電荷存儲(chǔ)特性薄膜的電荷存儲(chǔ)特性論文作者：朱華星指導(dǎo)教師：邱曉燕副教授學(xué)科專業(yè)：凝聚態(tài)物理研究方向：納米薄膜存儲(chǔ)器件制備與性能提交論文日期：2016年4月20日論文答辯日期：2016年6月4日學(xué)位授予單位：西南大學(xué)中國?重慶2016年6月單位代碼10635____學(xué)號(hào)112013315001076目錄摘要.................................

2、......................................................................................................IAbstract.............................................................................................................

3、..........................I第一章緒論...........................................................................................................................11.1非易失性存儲(chǔ)器件簡介...................................................

4、...........................................11.2納米浮柵非易失性存儲(chǔ)器(NFGNVM)發(fā)展的趨勢和存在的問題.........................21.3納米浮柵非易失性存儲(chǔ)器的研究現(xiàn)狀......................................................................31.4在本文的研究中，隧穿控制層以及納米微粒電荷存儲(chǔ)單

5、元材料的選擇.............41.5本文研究的目的、意義和主要內(nèi)容..........................................................................5第二章薄膜制備，微結(jié)構(gòu)觀測和電學(xué)性能表征方法簡介..................................................72.1薄膜的制備與沉積速率的標(biāo)定................

6、...................................................................72.1.1薄膜的制備.........................................................................................................72.1.2射頻磁控濺射原理簡介.....................

7、................................................................72.1.3沉積速率的標(biāo)定.................................................................................................82.2薄膜微結(jié)構(gòu)觀測、成分表征方法............................

8、...................................................82.2.1原子力顯微鏡(AFM)原理簡介..........................................................................82.2.2透射電子顯微鏡(TEM)原理簡介....................................................

9、..................92.2.3X射線光電子能譜儀(XPS)原理簡介...............................................................92.3薄膜電學(xué)性能的測量及方法簡介.............................................................................102.3.1薄膜MOS電容器結(jié)構(gòu)CV特

10、性曲線的測量與校正...................................102.3.2電荷存儲(chǔ)相關(guān)電學(xué)性能參數(shù)的提取...............................................................102.4薄膜MOS電容器結(jié)構(gòu)的漏電流電壓（IV）特性曲線測量................................11第三章?lián)芥嚰{米微粒HfO2薄膜的制備與微結(jié)構(gòu)觀測..

11、.....................................................123.1摻鎳納米微粒HfO2薄膜樣品的制備.......................................................................123.2摻鎳納米微粒HfO2薄膜的形貌、微結(jié)構(gòu)觀測與分析...........................................13

12、3.3本章小結(jié).....................................................................................................................14第四章?lián)芥嚰{米微粒HfO2薄膜的電荷存儲(chǔ)特性..............................................................154.1摻鎳前后H

13、fO2薄膜的介電性能對比.......................................................................154.2摻鎳前后HfO2薄膜的CV特性曲線的測量與分析..............................................154.2.1不同測量溫度的摻鎳納米微粒HfO2薄膜的電荷存儲(chǔ)特性.........................154.2

14、.2摻鎳納米微粒HfO2薄膜MOS電容器結(jié)構(gòu)的能帶匹配圖..........................174.3摻鎳納米微粒HfO2薄膜的電荷存儲(chǔ)耐受性..........................................................184.4摻鎳納米微粒HfO2薄膜的電荷存儲(chǔ)時(shí)效性..........................................................