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文檔簡介
1、隨著科學技術的發(fā)展,微電子、醫(yī)藥、生物等行業(yè)的的生產越來越精密化、微型化,生產工藝對生產環(huán)境的要求也日益提高,促使了潔凈技術也隨之迅速發(fā)展。近十幾年來,風機過濾單元(Fan Filter Unit,簡稱FFU)因為方便施工安裝、節(jié)約空間、負壓密封等優(yōu)點在潔凈室中的應用日益廣泛。但市場上的不同F(xiàn)FU產品在空氣動力性能、能耗及噪聲等方面也存在較大的性能差異。因為 FFU的性能差異是受其內部的結構導致的,所以提高FFU性能必須從研究FFU內部
2、結構著手。目前國內外一些學者也對不同F(xiàn)FU結構組件的性能進行了試驗研究,但通過CFD對FFU內部流場進行模擬優(yōu)化的較少。
為了評價和研究FFU產品的性能,本文通過FFU性能試驗臺,對FFU各項的性能參數(shù)進行實驗測試。首先對比了不同模數(shù)FFU的出風均勻性,接著對多種FFU進行了空氣動力性能試驗,然后研究了轉速、擋板形式對FFU的性能影響。對比結果說明,不同F(xiàn)FU的性能差異巨大,單一FFU機組受結構組件影響明顯。
為提高
3、FFU內氣流離開風機至下層腔體的導流效果,根據(jù)離心式風機蝸殼設計方法,對其擴壓出口段進行等截面處理,避免出現(xiàn)普通的的蝸型流道導致的漩渦與回流。通過實物尺寸建模后進行CFD模擬,對比結果顯示,45o蝸舌安放角的等截面蝸型流道表現(xiàn)最優(yōu),相較于市場上的普通蝸型流道設計,在0.45m?s-1面風速、800rpm轉速下,其靜壓要比其高出45Pa左右,效率則高出13%。將離心風機集流器由錐形設計優(yōu)化為圓弧形設計,經模擬驗證在相同靜壓下,其流量與空氣
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