基于四探針技術(shù)的新型方塊電阻測(cè)試儀設(shè)計(jì).pdf

1、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是現(xiàn)代信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)，晶圓摻雜的均勻性直接關(guān)系到信息產(chǎn)業(yè)尤其是集成電路的質(zhì)量。而方塊電阻是表征晶圓摻雜均勻性的重要而又直接的參數(shù)，是衡量半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的重要指標(biāo)之一。目前，國(guó)際上測(cè)試硅晶圓方塊電阻的方法主要是四探針測(cè)試技術(shù)，且其智能化、自動(dòng)化、集成化程度高，但國(guó)內(nèi)四探針測(cè)試儀普遍存在測(cè)試速度慢，自動(dòng)化程度低，無法準(zhǔn)確定位等不足，與國(guó)外差距較大?；诖?，本論文致力于設(shè)計(jì)一款自動(dòng)化和集成化程度較高的、基于四探針技術(shù)的新型方塊電阻測(cè)

2、試儀。
　　本系統(tǒng)設(shè)計(jì)基于經(jīng)典的四探針技術(shù)，使用帶細(xì)分控制的步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)載片臺(tái)水平方向精確運(yùn)動(dòng)，采用直線電機(jī)和配重方式控制探頭垂直方向運(yùn)動(dòng)，以在晶圓上精確定位測(cè)點(diǎn)；控制方面，以 STM32單片機(jī)為核心，設(shè)計(jì)具有友好人機(jī)界面的觸摸屏實(shí)現(xiàn)對(duì)測(cè)點(diǎn)定位、測(cè)試量程自動(dòng)匹配、自動(dòng)測(cè)試和數(shù)據(jù)處理，最終以多種形式輸出結(jié)果、測(cè)量單元中，恒流源使用精密運(yùn)放，配合具有20位模數(shù)轉(zhuǎn)換的電壓測(cè)量電路和以負(fù)反饋方式實(shí)現(xiàn)電流的穩(wěn)定輸出；同時(shí)，為實(shí)現(xiàn)裝置的產(chǎn)品化