四探針方塊電阻測試系統(tǒng)誤差分析及可靠性研究.pdf

1、四探針方塊電阻（又叫薄膜電阻）測試儀是半導體制造中常用的檢測儀器之一，用以測量半導體材料的電阻率和薄膜的方塊電阻，同時達到測量半導體薄層材料的摻雜濃度和薄膜厚度、控制器件和集成電路性能的目的。
　　目前半導體集成電路迅猛發(fā)展，帶動相關測試技術發(fā)展。隨著集成度的提高，器件尺寸的不斷縮小，晶圓尺寸的增大，要求測試系統(tǒng)的測量精度、穩(wěn)定性、分析和數據處理的能力不斷提高。半導體電阻率測量應用廣泛，在進口測量設備非常昂貴下，國產四探針方塊電阻

2、、電阻率測試系統(tǒng)市場很好，開發(fā)先進的四探針方塊電阻測試系統(tǒng)很有意義。
　　本文對四探針技術測量半導體薄層電阻及半導體材料電阻率的重要性進行了分析，論述了常用的幾種四探針測量技術的基本原理，并對比了各自的特點和適用對象。討論了影響四探針測試儀測量穩(wěn)定性的共性因素。介紹了新研制的數字式直線四探針薄層電阻測試系統(tǒng)的總體設計思路和方案，闡述了其工作原理，硬件組成、各部分要求。重點對該測試系統(tǒng)的測量誤差及可靠性進行分析研究，分析了測試誤差形