面向非線性特性的超精密平臺辨識和控制方法.pdf

1、可變狹縫系統(tǒng)作為掃描光刻機重要的分系統(tǒng)，在曝光等工作過程中起到了十分重要的作用?？勺儶M縫系統(tǒng)的核心部件為可變狹縫精密運動平臺，在精密運動控制中，平臺中含有的非線性特性不可忽略。本文以可變狹縫精密運動平臺為背景，對含有非光滑非線性特性的超精密平臺的建模、辨識及控制進行了研究。
　　首先，本文結(jié)合光刻機的工作過程對可變狹縫系統(tǒng)的功能進行了介紹，然后分別從電控系統(tǒng)及機械系統(tǒng)設(shè)計兩方面對可變狹縫精密運動平臺進行了分析。其中電控系統(tǒng)是從系統(tǒng)

2、級的角度對整個系統(tǒng)進行了介紹，而機械系統(tǒng)方面則著重對系統(tǒng)運動組件模態(tài)進行了分析，并對主要器件的選型和設(shè)計進行了簡要分析介紹。
　　其次，本文引入關(guān)鍵項分離原則，以Wiener-Hammerstein系統(tǒng)結(jié)構(gòu)為基礎(chǔ)，對精密運動平臺中可能含有的死區(qū)、飽和等典型單值非光滑非線性的系統(tǒng)進行了數(shù)學(xué)建模。并使用基于一般遞推算法的辨識算法進行辨識，最后分別給出了在有無輸出端噪聲的情形下的仿真結(jié)果，驗證模型及方法的有效性。
　　再次，相對于

3、典型單值非線性環(huán)節(jié)，本文進一步闡述了在一些平臺中常見的較為復(fù)雜的多值間隙非線性。除了依據(jù)關(guān)鍵項分離原則對含間隙非線性Wiener-Hammerstein系統(tǒng)進行建模以外，給出算例說明一般遞推算法的辨識方法對含間隙非線性Wiener-Hammerstein系統(tǒng)辨識的局限性，相應(yīng)的進一步應(yīng)用改進的粒子群算法對間隙非線性Wiener-Hammerstein系統(tǒng)參數(shù)進行辨識，并給出相關(guān)仿真和對比結(jié)果。
　　最后，基于上述的辨識結(jié)果，提出使