基于自由曲面方法的極紫外收集系統(tǒng)設(shè)計.pdf

1、集光系統(tǒng)是極紫外光刻機(jī)的重要組成部分。集光系統(tǒng)主要包括收集系統(tǒng)和照明系統(tǒng)，傳統(tǒng)的極紫外光刻機(jī)主要采用的Wolter I型的收集系統(tǒng)，由于這種收集系統(tǒng)在中間像點處收集的光是非均勻的，因此照明系統(tǒng)則必須采用特殊的復(fù)眼式科勒照明方式，這是一種光學(xué)積分器形式，這種光學(xué)積分器是由多個微小的反射鏡組成的，制造工序復(fù)雜，成本也非常高。為了大批量生產(chǎn)，減小成本，本文將基于自由曲面的方法設(shè)計一種新型的收集系統(tǒng)。
　　首先討論了近幾年的極紫外光刻機(jī)及

2、其收集系統(tǒng)的發(fā)展情況；然后以極紫外理論知識和非成像的知識為基礎(chǔ)，探討了這種新型的自由曲面收集系統(tǒng)的設(shè)計方法，并根據(jù)收集系統(tǒng)的參數(shù)設(shè)計出滿足要求的自由曲面；在構(gòu)造自由曲面的過程中，首先在matlab中通過求解計算得到自由曲面的截面的離散點，并在SolidWorks中得到收集系統(tǒng)3D模型；最后通過Tracepro軟件仿真模擬驗證所設(shè)計的收集系統(tǒng)，通過對照面能量和均勻度的分析，證明這種自由曲面的收集系統(tǒng)的可行性與正確性。
　　為了方便數(shù)