功率集成器件熱載流子退化測試系統(tǒng)設計及實現(xiàn).pdf

1、功率集成器件作為功率集成電路的主要組成部分，通常工作在高壓、大電流等惡劣情況下，因而面臨嚴重的熱載流子退化問題，使得器件工作壽命縮短，進而影響整個電路系統(tǒng)的性能。因此，功率集成器件的熱載流子退化問題亟需解決，而為了方便、快速的測試并研究其內(nèi)在退化機理，專用的熱載流子退化測試系統(tǒng)的研究開發(fā)意義重大。目前，利用各種通用儀器搭建的測試系統(tǒng)，操作繁瑣，連線產(chǎn)生的寄生參數(shù)干擾嚴重，不能滿足更高層次的測試研究需求。
　　本文根據(jù)器件熱載流子退

2、化所需的應力設計了動態(tài)應力發(fā)生模塊，可以產(chǎn)生頻率、脈寬、幅值和上升下降沿可調(diào)的脈沖信號，作為退化的動態(tài)應力。同時，為了檢測施加應力過程中器件電學參數(shù)的退化情況，本文設計了器件電學參數(shù)監(jiān)測模塊，實現(xiàn)了應力模式和電學參數(shù)測試模式間的自動切換，實時監(jiān)測并記錄器件的電學參數(shù)。另外，該測試系統(tǒng)還包含電源模塊、基準模塊、過壓保護模塊等，確保測試系統(tǒng)安全穩(wěn)定工作。
　　測試結(jié)果表明:本文設計的測試系統(tǒng)可以產(chǎn)生頻率在5kHz-2MHz間可調(diào)、脈寬