自動(dòng)批量化加速度傳感器標(biāo)定系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn).pdf

1、隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展，MEMS加速度傳感器得到了迅速發(fā)展，已經(jīng)被廣泛的應(yīng)用在各個(gè)領(lǐng)域，MEMS加速傳感器年需求量在不斷的增長。但是在MEMS加速度傳感器批量化生產(chǎn)后，在其投入使用前，都需要進(jìn)行各項(xiàng)參數(shù)的標(biāo)定測試，而目前我國MEMS加速度傳感器標(biāo)定測試主要以人工標(biāo)定、單件標(biāo)定，還沒有自動(dòng)批量化標(biāo)定測試設(shè)備，能夠一次完成靜態(tài)翻轉(zhuǎn)試驗(yàn)和動(dòng)態(tài)標(biāo)定試驗(yàn)。本文設(shè)計(jì)了一套自動(dòng)批量化加速度傳感器標(biāo)定系統(tǒng)，該系統(tǒng)能夠在不同的溫濕度環(huán)境下對多個(gè)加速度傳感

2、器的各項(xiàng)參數(shù)進(jìn)行靜動(dòng)態(tài)標(biāo)定測試。
　　本文通過分析MEMS加速度傳感器的標(biāo)定方法及原理，并按照系統(tǒng)的設(shè)計(jì)要求和技術(shù)指標(biāo)，設(shè)計(jì)了標(biāo)定系統(tǒng)整體結(jié)構(gòu)。該系統(tǒng)主要是由批量化加速度傳感器標(biāo)定測試平臺、自動(dòng)鎖緊機(jī)構(gòu)、多通道數(shù)據(jù)采集模塊、系統(tǒng)控制模塊、上位機(jī)模塊、可變環(huán)境裝置6個(gè)部分組成。其中標(biāo)定測試平臺包含有靜態(tài)翻轉(zhuǎn)裝置和動(dòng)態(tài)標(biāo)定裝置兩部分，自動(dòng)鎖緊機(jī)構(gòu)主要負(fù)責(zé)靜態(tài)翻轉(zhuǎn)裝置和動(dòng)態(tài)標(biāo)定裝置的自動(dòng)轉(zhuǎn)換，來實(shí)現(xiàn)加速度傳感器載體與振動(dòng)臺臺面的鎖緊與松

3、開，以便實(shí)現(xiàn)靜動(dòng)態(tài)標(biāo)定試驗(yàn)。對系統(tǒng)控制模塊和數(shù)據(jù)采集模塊進(jìn)行了詳細(xì)的研究和設(shè)計(jì)，系統(tǒng)控制模塊選用DSP作為核心控制器，并對控制模塊中的各個(gè)硬件電路進(jìn)行了設(shè)計(jì)，以實(shí)現(xiàn)對靜態(tài)翻轉(zhuǎn)裝置和動(dòng)態(tài)標(biāo)定裝置中的各功能部件的控制；系統(tǒng)數(shù)據(jù)采集模塊選用FPGA作為核心控制器，并對數(shù)據(jù)采集模塊中的各個(gè)硬件電路進(jìn)行了設(shè)計(jì)，來實(shí)現(xiàn)20個(gè)傳感器的數(shù)據(jù)采集和處理。針對系統(tǒng)控制模塊和數(shù)據(jù)采集模塊進(jìn)行了其軟件的設(shè)計(jì)，并詳細(xì)分析了各功能模塊的實(shí)現(xiàn)。最后對加速度傳感器標(biāo)定