加速度傳感器批量測試平臺技術(shù)研究.pdf

1、MEMS加速度傳感器已廣泛應用于汽車工業(yè)、工業(yè)過程控制、醫(yī)用保健、消費類電子及環(huán)保等領(lǐng)域,年需求量超過1000萬套。但是,對其的標定測試目前還是單件、手動來完成,標定測試效率低,時間長,而且人工費用高,測試存在不穩(wěn)定的差錯。論文圍繞設計制造能在不同溫濕度環(huán)境下對批量MEMS加速度傳感器自動一次完成靜態(tài)重力場翻滾實驗和動態(tài)振動實驗設備展開,設計完成了適用于該設備的批量MEMS加速度傳感器重力場翻滾實驗自動測試平臺。
　　論文首先介紹

2、了加速度傳感器的發(fā)展歷史、原理以及測試方法,總結(jié)了現(xiàn)有加速度傳感器重力場翻滾實驗設備的實現(xiàn)方法。在此基礎上,設計了平臺的整體實現(xiàn)方案;設計了批量MEMS加速度傳感器的槽形加載機構(gòu)、步進伺服電機直接驅(qū)動360°內(nèi)多位置精確定位機構(gòu)、步進電機和滾珠絲杠組成的直線運動機構(gòu);利用SolidWorks軟件對平臺進行了三維模擬裝配、關(guān)鍵零件的有限元分析和運動仿真。
　　其次,論文設計完成了平臺的控制系統(tǒng)。通過分析平臺控制系統(tǒng)要求和各種控制器的

3、特點,選擇三菱FX3U型PLC作為平臺控制系統(tǒng)的控制器;選擇VB編寫計算機控制軟件;完成了計算機與PLC通信模塊硬件電路的設計;完成了PLC控制步進電機硬件電路的設計;最后,完成對平臺控制軟件的編寫。
　　最后,對測試平臺實物進行了調(diào)試,對調(diào)試過程中遇到的問題以及解決方法作了簡要介紹;給出了用論文中設計的平臺測試時可能產(chǎn)生的誤差以及減小誤差的方法;用該平臺對某型號的加速度傳感器進行了測試,對測試得到的數(shù)據(jù)和廠家提供的參數(shù)進行對比,