地震動加速度傳感器的研究.pdf

1、論文詳細闡述了地震動加速度傳感器在石油勘探，地震預測，市政工程以及軍事上的重要意義。論文在研究分析了國內外地震動傳感器發(fā)展的基礎上，結合地震動傳感器的發(fā)展方向，提出一種結構新穎的靜電力平衡電容式地震動傳感器。 文章重點研究了電容加速度傳感器的結構、工作原理、力學、電學特性等。對微慣性器件常用的支撐梁作了分類，推導了各種梁結構Z向的彈性系數(shù)模型，進行了仿真比較。同時對電容式加速度計的優(yōu)化設計提出了一些建議。 利用有限元分析

2、軟件ANSYS對地震動電容加速度傳感器的結構進行了計算機模擬。通過靜力學分析、模態(tài)分析和諧響應分析得出了傳感器結構尺寸對其位移量、諧振頻率及模態(tài)振型的影響規(guī)律，并通過理論計算驗證了仿真結果，最后進行了瞬態(tài)動力學分析和耦合場分析。 本文還在加速度傳感器力學原理和流體力學基礎上，對微結構的氣體阻尼及動態(tài)特性進行了研究，建立了質量塊和蓋板間壓膜氣體模型，確定了影響氣體阻尼的結構參數(shù)，給出了有關微結構的阻尼優(yōu)化設計，并對阻尼進行了仿真。