p型SnO薄膜晶體管的制備及性能研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、分類號：TⅣ斗密級：懨飛單位代碼：10422學(xué)號：如lⅫ≯芻≯蒙力季SHANDONGUNIVERSITY碩士學(xué)位論文論文題目：ThesisforMasterDegree(專業(yè)學(xué)位)P遞5no簿啊e咖嗚。n也P，切嚴(yán)孓作者培養(yǎng)專業(yè)指導(dǎo)合作名晶廠諦碴偽齜移&，性槲嘸Mm，、一腫r朋舭。fp砷、nRIm砌怖i妨乳教位衄逞臣匣稱堡丞魚墮圭查師盤籃＆數(shù)熊師h如年’≮月1日，沙姓單名教導(dǎo)山東大學(xué)碩士學(xué)位論文目錄摘要IAbstractIII第一章緒論

2、111引言l12薄膜晶體管的研究概述與應(yīng)用213本論文主要工作3第二章P型金屬氧化物材料及器件的研究概述521P型金屬氧化物半導(dǎo)體材料的分類5211P型摻雜的普通氧化物5212P型銅鐵礦系氧化物CuM025213P型SnO金屬氧化物722P型SnO薄膜晶體管的發(fā)展及研究概述10221P型SnO薄膜晶體管發(fā)展歷史10222P型SnO薄膜晶體管結(jié)構(gòu)及工作原理14223P型SnO薄膜晶體管器件參數(shù)分析l5第三章P型SnO薄膜晶體管制備方法l7

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