全固態(tài)WO3基電致變色器件的制備及性能研究.pdf

1、WO3薄膜是一種優(yōu)良的無機(jī)電致變色材料，具有致色電壓低、開路延時(shí)記憶、無視盲角等優(yōu)點(diǎn)，在大面積電子紙、布告板、節(jié)能建筑等方面應(yīng)用廣泛，在資源、能源日趨短缺的當(dāng)代社會(huì)具有重要的經(jīng)濟(jì)意義。
　　本文第一章介紹了WO3薄膜電致變色器件的概念、特性、應(yīng)用，介紹了WO3的晶體結(jié)構(gòu)、理化性能;綜述了WO3薄膜以及電致變色器件的制備方法、研究進(jìn)展，指出了未來的發(fā)展趨勢。
　　第二章詳細(xì)闡述了磁控濺射鍍膜技術(shù)，介紹了X射線衍射(XRD)、原

2、子力形貌(AFM)、X射線光電子能譜(XPS)、四探針測試儀、臺(tái)階儀、分光光度計(jì)等表征測試技術(shù)。
　　第三章采用直流反應(yīng)磁控濺射法制備了濺射氣壓為1.5Pa～3.0Pa的WO3薄膜。測試了在不同氣壓下制備的薄膜結(jié)構(gòu)、形貌，并進(jìn)行對比分析。另外，采用射頻反應(yīng)磁控濺射法制各了TiO2對電極薄膜;采用有機(jī)聚合反應(yīng)合成了凝膠態(tài)電解質(zhì)。將不同氣壓下制備的WO3薄膜封裝成固態(tài)電致變色器件，通電測試其變色性能。其中，2.0Pa氣壓制得的WO3薄

3、膜器件性能最優(yōu)，對可見光的調(diào)制幅度達(dá)到63.2％。
　　第四章采用直流反應(yīng)磁控濺射法制備了WO3∶N薄膜。測試了不同摻氮量薄膜的結(jié)構(gòu)、表面形貌、成分和價(jià)態(tài)。同樣與TiO2對電極薄膜、有機(jī)凝膠態(tài)電解質(zhì)封裝成固態(tài)電致變色器件，測試了在可見光-近紅外區(qū)的變色調(diào)制性能，指出摻氮量在2.80at.％時(shí)全波段調(diào)幅達(dá)到最佳值68.8％。
　　第五章探討了單基片式電致變色器件。制備了光電性能較好、可作為器件外層透明電極的ZAO(ZnO∶Al