RF MEMS移相器的設(shè)計(jì)與分析.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、與傳統(tǒng)移相器相比，RF MEMS移相器具有低損耗、寬頻帶、微型化，同時(shí)與IC、MMIC電路易于系統(tǒng)集成等優(yōu)點(diǎn)。受制于材料、微電子工藝等基礎(chǔ)工業(yè)水平的限制，目前國內(nèi)鮮有Ka波段RFMEMS移相器見諸報(bào)端。
　　本篇文章首先介紹了MEMS技術(shù)和RF MEMS技術(shù)，并闡述了RFMEMS技術(shù)的市場前景。接下來介紹了RF MEMS移相器中最重要的基本元件RF MEMS開關(guān)，重點(diǎn)介紹了RF MEMS電容式開關(guān)和RF MEMS接觸式開關(guān)，并且對

2、一種RF MEMS電容式開關(guān)進(jìn)行了電磁仿真和機(jī)電性能仿真。在前面章節(jié)仿真和分析的基礎(chǔ)上，本文接著分別介紹了DMTL型、反射型、開關(guān)線型和開關(guān)網(wǎng)絡(luò)型移相器的國內(nèi)外發(fā)展情況以及工作原理。最后提出設(shè)計(jì)一款DMTL型移相器。
　　在本文中，設(shè)計(jì)一種Ka波段DMTL型RF MEMS移相器，它采用了15個(gè)MEMS電容式并聯(lián)開關(guān)，同時(shí)在MEMS開關(guān)中加入MIM電容，實(shí)現(xiàn)了4位相移。文中對Ka波段4位RF MEMS移相器進(jìn)行設(shè)計(jì)與分析，通過MEM

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