基于叉指式共面波導(dǎo)的RF MEMS開關(guān)線型移相器研究.pdf

1、上海交通大學(xué)博士學(xué)位論文基于叉指式共面波導(dǎo)的RFMEMS開關(guān)線型移相器研究姓名：孫曉峰申請學(xué)位級別：博士專業(yè)：微電子學(xué)與固體電子學(xué)指導(dǎo)教師：丁桂甫20081101摘要本文設(shè)計的開關(guān)線型移相器是以叉指式共面波導(dǎo)結(jié)構(gòu)為傳輸路徑，靜電開關(guān)采用的是并聯(lián)電容式開關(guān)，開關(guān)上極板為礎(chǔ)型，由四個L型梁支撐，采用有限元仿真的方法分析了各結(jié)構(gòu)參數(shù)對有效彈性系數(shù)的影響，簡要分析了開關(guān)的靜電激勵以及電磁模型。三位移相器是由0／4500／900、0／1800三個

2、一位移相器連接而成，共采片j了9個靜電開關(guān)，整體尺寸為55mmx7mm。對開關(guān)進(jìn)行測試，驅(qū)動電壓為365V，在6～15GHz范圍內(nèi)隔離度好于25dB；對移相位的測試，10GHz時測出的移相結(jié)果分別是3810、9470和18830，相應(yīng)的插入損耗分別為一66dB、86dB和一9dB，這三種移相狀態(tài)下的回波損耗都好于一315dB。本文研究了叉指式共面波導(dǎo)以及開關(guān)線型移相器所涉及的工藝技術(shù)，確定合適的工藝方案和工藝參數(shù)，選用合適的材料，涉及的