電容檢測式硅微陀螺敏感信號(hào)讀出電路性能研究.pdf

1、硅微陀螺是基于微機(jī)械加工工藝制作而成的用于測量運(yùn)動(dòng)物體角速度的重要慣性器件，被廣泛用于航天航空、交通以及民用消費(fèi)類電子產(chǎn)品等領(lǐng)域，特別是電容檢測式硅微陀螺因其高性價(jià)比，小體積，易集成等優(yōu)勢成為近期研究熱點(diǎn)。對(duì)于電容檢測式硅微陀螺而言，其敏感電容信號(hào)的輸出直接決定著它的性能優(yōu)劣。因此，硅微陀螺敏感電容信號(hào)讀出電路是高精度陀螺研究的重要內(nèi)容之一。
　　本文基于硅微陀螺電容檢測原理，針對(duì)電容檢測式硅微陀螺敏感信號(hào)讀出電路展開研究。在對(duì)比

2、分析敏感電容信號(hào)提取典型電路結(jié)構(gòu)的性能特性基礎(chǔ)上，提出以電荷放大器為核心的差分調(diào)制敏感信號(hào)讀出電路，設(shè)計(jì)了差分調(diào)制電路、信號(hào)解調(diào)電路以及濾波放大電路，分析各電路模塊的工作原理及電學(xué)特性，并建立電路非理想因素噪聲模型，從元件選擇、參數(shù)設(shè)置、PCB布局布線等多方面進(jìn)行了綜合優(yōu)化。
　　在無信號(hào)輸入條件下，通過低頻動(dòng)態(tài)信號(hào)分析儀35670A對(duì)差分調(diào)制敏感信號(hào)讀出電路噪聲性能進(jìn)行測試，測試結(jié)果表明該電路輸出電壓噪聲為-116.244 dB