液晶顯示屏檢測儀器氣浮支承系統(tǒng)設計研究.pdf

1、基于氣體潤滑理論構建的非接觸氣浮傳輸系統(tǒng)具有精度高，摩擦小，對被測工件無接觸損傷等優(yōu)點，是液晶平板顯示屏自動光學檢測儀器的核心部件之一。
　　本文主要針對液晶平板顯示屏自動光學檢測儀器氣浮傳輸系統(tǒng)中支承氣膜的性能進行研究，進而對其主要部件靜壓氣浮板的結構進行優(yōu)化設計。在全面比較小孔、毛細管、多孔質等多種節(jié)流器節(jié)流效果的基礎上，結合液晶顯示屏大、輕、薄的結構特點，設計了毛細管節(jié)流方案，并構建了毛細管節(jié)流單元的結構模型，對單元模型中氣

2、體流動的過程進行了理論分析，得到了模型參數(shù)與氣膜承載力、質量流量等的函數(shù)關系。借助FLUENT軟件包，選擇層流模型，對氣浮支承單元的流場進行了數(shù)值仿真;基于控制變量法，詳細研究了毛細管半徑、氣膜厚度、供氣壓力等模型參數(shù)對支承氣膜壓力、速度分布，質量流量，平均承載力的影響，據(jù)此對氣浮支承單元模型進行了優(yōu)化;對氣浮板支承流場進行了三維建模，通過仿真比較了通孔陣列不同排布下支承氣膜的性能，得出了通孔的最佳排布模式。在理論研究和仿真分析基礎上，