NdFeB磁體表面耐腐蝕薄膜的制備及性能研究.pdf

1、通過磁控濺射方法在燒結(jié)釹鐵硼磁體表面分別沉積SiC薄膜、SiC/Al雙層膜、SiC/AlN雙層膜和(SiC/AlN)2多層膜。通過XRD、AFM、FESEM、電化學(xué)工作站和超高矯頑力永磁脈沖測試儀對鍍膜試樣進(jìn)行結(jié)構(gòu)和性能的測試，同時(shí)研究沉積不同薄膜的釹鐵硼試樣在酸、堿、鹽溶液中的耐腐蝕性能。具體內(nèi)容如下:
　　第一章概括了永磁體的種類，永磁材料釹鐵硼的發(fā)展背景史、制備手段、結(jié)構(gòu)成分、燒結(jié)釹鐵硼永磁材料的三種腐蝕原理以及如何提高抗腐

2、蝕性能的方法。綜述了本課題的背景、主要內(nèi)容和創(chuàng)新點(diǎn)。
　　第二章羅列了實(shí)驗(yàn)過程中所需要的材料和設(shè)備儀器，并對磁控濺射的工作原理和薄膜的形成過程做了主要的介紹，同時(shí)還對各種表征測試儀器做了簡單介紹:X射線衍射儀(XRD)、原子力顯微鏡(AFM)、場發(fā)射掃描電子顯微鏡(FESEM)、和上海辰華電化學(xué)工作站等。
　　第三章研究在釹鐵硼磁體表面沉積不同膜厚的SiC薄膜，利用FESEM對薄膜的形貌和結(jié)構(gòu)進(jìn)行分析，并比較在0.62 mo

3、l/L NaCl、6.25 mol/L NaOH和0.10 mol/LH2SO4三種溶液中鍍有不同厚度薄膜的釹鐵硼試樣的耐腐蝕性能。結(jié)果表明，鍍膜的釹鐵硼試樣比未鍍膜釹鐵硼的耐腐蝕性能要好，而鍍510 nm SiC薄膜的釹鐵硼比鍍410 nm SiC薄膜的釹鐵硼的耐腐蝕性能要好。
　　第四章研究了在釹鐵硼基體上沉積Al膜作為緩沖層來提高SiC薄膜與釹鐵硼基體的膜基結(jié)合力。對比未鍍膜釹鐵硼、鍍單層SiC膜的釹鐵硼、鍍單層Al膜的釹鐵

4、硼和鍍SiC/Al雙層膜的釹鐵硼的結(jié)構(gòu)、形貌、磁學(xué)性能，以及在這三種腐蝕溶液:0.62 mol/LNaCl、6.25 mol/L NaOH和0.10 mol/L H2SO4中的抗腐蝕性能。結(jié)果發(fā)現(xiàn)，Al緩沖層明顯提高了SiC薄膜的粗糙度，使顆粒細(xì)小均勻，同時(shí)提高了釹鐵硼磁體的耐腐蝕性能。
　　第五章研究了在釹鐵硼基體上沉積不同周期的SiC/AlN薄膜。通過XRD、FESEM檢測釹鐵硼基體上沉積薄膜的結(jié)構(gòu)和形貌，并研究在0.62 m

5、ol/L NaCl、6.25 mol/L NaOH和0.10 mol/L H2SO4三種溶液中NdFeB上鍍有不同周期的SiC/AlN薄膜的耐腐蝕性能。結(jié)果表明，多層SiC/AlN薄膜成功地阻斷了SiC薄膜的柱狀生長，鍍膜后的釹鐵硼主相的結(jié)晶程度增加，鍍膜釹鐵硼的抗腐蝕性能比未鍍膜釹鐵硼好;鍍有(SiC/AlN)2多層膜的NdFeB試樣的耐腐蝕性能比鍍有SiC/AlN雙層膜的NdFeB要好;在酸、堿、鹽溶液中，鍍有(SiC/AlN)2多