超薄金屬納米多孔膜透光特性研究.pdf

1、自T.W.Ebbesen報(bào)道金屬薄膜上亞波長(zhǎng)小孔陣列的超強(qiáng)的光透射現(xiàn)象以來(lái)，科學(xué)界開始對(duì)基于表面等離激元的亞波長(zhǎng)孔陣金屬薄膜的光增強(qiáng)透射特性進(jìn)行廣泛研究。相比于較厚的金屬膜，超薄金屬膜的透射在特定條件下呈現(xiàn)某種抑制傳輸現(xiàn)象。研究超薄金屬膜對(duì)于可見光和近紅外電磁波的透射作用，發(fā)掘其在光電器件中的潛在應(yīng)用具有重要意義。本論文將從理論和實(shí)驗(yàn)兩部分研究一個(gè)厚度為20nm的Au薄膜上的亞波長(zhǎng)周期孔陣的光透射特性。
　　聚苯乙烯納米球掩膜技術(shù)

2、是一種被廣泛用于金屬納米結(jié)構(gòu)制備的自組裝方法。通過(guò)控制納米刻蝕程序中的工藝參量，制備六邊形周期性排列的亞波長(zhǎng)小孔陣列金屬薄膜。運(yùn)用光譜儀測(cè)量得到其光透射譜，通過(guò)研究透射曲線的波峰和波谷位置，我們發(fā)現(xiàn)隨著納米孔洞直徑的減小，透射譜的峰和谷位置呈紅移趨勢(shì)。通過(guò)控制納米孔的直徑，亞波長(zhǎng)小孔陣列的光透過(guò)率在波長(zhǎng)范圍為300-2000 nm內(nèi)達(dá)到70％。在波長(zhǎng)范圍為500-1000 nm內(nèi)，小孔陣列會(huì)出現(xiàn)一個(gè)明顯的光抑制現(xiàn)象。在運(yùn)用二維的時(shí)域有限