可視化非接觸式探頭的研制.pdf_第1頁(yè)
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1、為解決微型工件的高精度測(cè)量問(wèn)題,研制了一臺(tái)基于藍(lán)光DVD光學(xué)讀取頭的可視化非接觸掃描探頭。該探頭包括可視化模塊、測(cè)量模塊和CCD相機(jī)三部分。該探頭可以實(shí)現(xiàn)微小尺寸的縱向和橫向高精度測(cè)量,借助CCD相機(jī),透過(guò)探頭的可視化系統(tǒng)可以觀(guān)察待測(cè)件表面形貌,并可以看清聚焦光點(diǎn)與待測(cè)位置的相對(duì)關(guān)系。論文主要完成了以下工作:
  (1)對(duì)市售藍(lán)光DVD光學(xué)讀取頭的結(jié)構(gòu)加以改進(jìn),將其作為探頭的位移傳感器,完成微位移測(cè)量要求。
  (2)設(shè)計(jì)了

2、共焦光路系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)了在實(shí)驗(yàn)過(guò)程中觀(guān)察測(cè)量進(jìn)程的目的。共焦(無(wú)限遠(yuǎn))光路系統(tǒng)的設(shè)計(jì)主要包括合理的光路分析和正確的參數(shù)計(jì)算這兩項(xiàng)工作。
  (3)確立了基于象散原理和反射能量的測(cè)量方法。其中,象散原理用于縱向(階高)測(cè)量,通過(guò)對(duì)誤差聚焦信號(hào)曲線(xiàn)的標(biāo)定處理實(shí)現(xiàn)縱向(階高)高精度測(cè)量;反射能量用于橫向測(cè)量,通過(guò)反射能量的變化建立邊緣信號(hào)模型并確定合適閾值來(lái)判斷邊緣位置,以此得到橫向(線(xiàn)寬)測(cè)量高分辨率,突破衍射極限對(duì)傳統(tǒng)光學(xué)測(cè)量的限制。<

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