2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁(yè)
已閱讀1頁(yè),還剩72頁(yè)未讀, 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說(shuō)明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡(jiǎn)介

1、隨著數(shù)碼和電子產(chǎn)品快速發(fā)展與換代,人們對(duì)于更強(qiáng)更快更便宜產(chǎn)品的需求也與日俱增。光刻技術(shù)是在硅片上構(gòu)建半導(dǎo)體管以及電路的基礎(chǔ),是IC制造業(yè)中非常重要的一環(huán),作為分辨率達(dá)到15nm以下的光刻技術(shù),壓印被寫(xiě)入2013年國(guó)際半導(dǎo)體技術(shù)路線圖(ITRS2013),步進(jìn)閃光式納米壓印技術(shù)更是被認(rèn)為是最有前途的光刻技術(shù)。本文就通過(guò)控制方程推導(dǎo)以及CFD軟件仿真的方式對(duì)壓印模型進(jìn)行計(jì)算分析,課題的研究?jī)?nèi)容如下:
  首先,對(duì)特征模板為剛性模板的模

2、型進(jìn)行分析。先設(shè)定模型參數(shù),建立模型,并判斷壓印膠的流動(dòng)狀態(tài)??紤]到極小間隙下壓印膠的黏度以及表面張力,對(duì)壓印膠的接觸角以及壓力突變進(jìn)行分析。利用不可壓縮粘性流體連續(xù)方程對(duì)壓印膠模型進(jìn)行分析,推導(dǎo)該模型下的控制方程。利用CFD軟件FLOW-3D建立相關(guān)的模型并進(jìn)行仿真計(jì)算,將仿真結(jié)果與理論推導(dǎo)的控制方程進(jìn)行對(duì)比分析。對(duì)壓印速度、壓印膠黏度等參數(shù)進(jìn)行分析比較,得到這些參數(shù)對(duì)于壓印效率以及成本的影響和關(guān)系。
  然后,對(duì)特征模板為柔性

3、模板的模型進(jìn)行分析。柔性模板在壓印技術(shù)中有很多優(yōu)勢(shì),但是它在壓印的時(shí)候會(huì)產(chǎn)生變形,那么就需要重新推導(dǎo)它的控制方程。在柔性模型中,對(duì)模板的彈性模量、厚度、壓印膠黏度等參數(shù)選取不同的數(shù)值進(jìn)行仿真分析,得到不同參數(shù)對(duì)于壓印產(chǎn)生的效果,指導(dǎo)實(shí)際運(yùn)用的選擇。
  最后,針對(duì)傳統(tǒng)的步進(jìn)閃光式納米壓印技術(shù)進(jìn)行優(yōu)化,將傳統(tǒng)的壓印膠液滴給重新排列分布,利用小液滴可以減少壓印時(shí)間以及更有利于特征圖案填充的優(yōu)勢(shì),將液滴均分為等體積小液滴,利用單元格方法

4、對(duì)整個(gè)模型進(jìn)行重新分析。小液滴模型的壓印過(guò)程可以分為獨(dú)立壓印以及聚結(jié)壓印兩個(gè)階段。對(duì)新模型進(jìn)行仿真計(jì)算,得到新模型的壓應(yīng)力以及壓印時(shí)間,對(duì)于壓印效率以及壓印成本進(jìn)行再一次的分析比較。
  本文對(duì)步進(jìn)閃光式納米壓印進(jìn)行詳細(xì)的分析和計(jì)算,分別針對(duì)剛性模板以及柔性模板下的模型,進(jìn)行各個(gè)參數(shù)的比較分析,并對(duì)該技術(shù)進(jìn)行壓印膠改良排列,得到不同參數(shù)對(duì)于實(shí)際壓印過(guò)程產(chǎn)生的不同影響,總結(jié)出可以減少成本以及提高效率的參數(shù)選擇。本文對(duì)于步進(jìn)閃光式納米

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論