高精度非球面輪廓儀檢測系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn).pdf

1、非球面光學(xué)零件在現(xiàn)代光學(xué)系統(tǒng)中得到了廣泛的應(yīng)用，因?yàn)樵诠鈱W(xué)系統(tǒng)中，非球面能夠改善像質(zhì)，減少鏡片數(shù)量，實(shí)現(xiàn)光學(xué)系統(tǒng)小型化和輕量化。在實(shí)際工程應(yīng)用領(lǐng)域?qū)Ψ乔蛎婀鈱W(xué)元件提出了相應(yīng)的技術(shù)指標(biāo)要求，比如說非球面口徑、相對口徑、面形誤差、輕量化、加工效率和生產(chǎn)成本等。其中實(shí)際加工誤差尤為重要，在非球面加工的每個階段，需要使用合適的檢測方法實(shí)現(xiàn)可靠的面形測量，其中在非球面粗磨階段，非球面面形誤差常在數(shù)十微米，因干涉法雖然精度高，但動態(tài)范圍小，無法使用

2、干涉法檢測，且粗磨階段，元件因表面粗糙無法反射。使用接觸式坐標(biāo)測量方式能夠解決上述問題，是非球面研磨與拋光前期面形測量的主要手段，所以研究高精度的非球面輪廓測量儀具有重要的意義。
　　本文針對非球面面形測量的問題，研究了非球面輪廓測量的方法，主要工作包括如下幾個方面：
　　1、介紹了常用的非球面檢測方法，分析了輪廓儀檢測非球的設(shè)計(jì)思路和技術(shù)要求；
　　2、詳細(xì)分析了三坐標(biāo)輪廓儀的測量誤差，完成了誤差去除數(shù)學(xué)模型；